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            國(guó)產(chǎn)高真空機(jī)組

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            • 國(guó)產(chǎn)高真空機(jī)組
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            更新時(shí)間:2021-09-28 16:33:37瀏覽次數(shù):1752

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            葉輪數(shù)目 其他 應(yīng)用領(lǐng)域 化工,能源,電子/電池,電氣
            貝意克主要從事實(shí)驗(yàn)室儀器設(shè)備的研發(fā)生產(chǎn),主營(yíng)各類型箱式爐、管式爐、CVD、PECVD、ALD、PVD磁控濺射、真空鍍膜、薄膜制備、納米材料制備裝備、各種高精度真空箱以及各類非標(biāo)定制,產(chǎn)品領(lǐng)域涉及科研、光電產(chǎn)業(yè)化、半導(dǎo)體、優(yōu)良等高科技產(chǎn)業(yè)。公司致力于提供專業(yè)的設(shè)備、技術(shù)和服務(wù),助力*新材料研發(fā)。

            詳細(xì)介紹

            國(guó)產(chǎn)高真空機(jī)組 VAU-05G

              1.技術(shù)指標(biāo):

            環(huán)境溫度

            5-32℃

            空氣相對(duì)濕度

            ≤85%

            工作電壓

            AC220V±10% 50/60Hz

            功率

            1KW

            系統(tǒng)整體極限真空度

            5.0*10-5pa

            實(shí)驗(yàn)真空度

            5.0*10-3pa

            外形尺寸

            600*600*650mm

             

              2.主要配置:

            主要配置

            技術(shù)參數(shù)

            機(jī)械泵

            抽氣速率:4L/S

            容油量:1.1L

            電機(jī)功率:400W

            極限壓強(qiáng):6×10-2Pa

            分子泵

            抽氣速率:100L/S

            極限壓強(qiáng):6×10-6Pa

            啟動(dòng)時(shí)間:<2min

            額定轉(zhuǎn)速:4300轉(zhuǎn)/分

            冷卻方式:環(huán)境溫度5-32℃時(shí),風(fēng)冷;5-40℃時(shí),水冷。

            分子泵控制器

            電壓:220V±22V

            啟動(dòng)電流:≤7A

            輸入頻率:47HZ—63HZ

            最大輸出功率:≤150W

            最大加速電壓:≤40V

            加速時(shí)間:≤3min

            頻率(雙速):高速705HZ±10HZ

                                 低速430HZ±5HZ

            復(fù)合真空計(jì)

            測(cè)量路數(shù):2路(電阻規(guī)、電離規(guī)各1路)

            工作模式:手動(dòng)/自動(dòng)

            電阻單元參數(shù)

            測(cè)量范圍:1.0×105Pa~1.0×10-1Pa

            有效范圍:2.5×103Pa~5.0×10-1Pa

            控制范圍:2.5×10>3Pa~5.0×10-1Pa

            電離單元參數(shù)

            可測(cè)范圍:5.0Pa~1.0×10-5Pa

            有效范圍:1.0Pa~5.0×10-5Pa

            控制范圍:1.0Pa~5.0×10-5Pa

            規(guī)管除氣方式:焦耳去氣

            其他參數(shù)

            控制路數(shù):4

            控制方式:點(diǎn)動(dòng)或區(qū)域控制/帶掉電記憶

            控制精度:±1%

            采樣時(shí)間:1S

            電源:220V±10% 50HZ

            功耗:50W

            使用環(huán)境溫度:0℃~45℃

            濕度:≤85%

            連接管路

            采用全不銹鋼,電拋光制作,零件焊接漏率優(yōu)于1.0×10-9Pa.m3/s


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