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| 產(chǎn)品名稱：氣體質(zhì)量流量計 氣體流量計 微型流量傳感器 產(chǎn)品型號：FS4000系列 |
產(chǎn)品概述：MF4000系列帶數(shù)顯；FS4000系列不帶數(shù)顯
FS4000是采用的微機電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感器和電子控制，專為普通氣體流量監(jiān)測開發(fā)的產(chǎn)品。該傳感器能直接測量氣體質(zhì)量流量，低壓損。適用于凈化空氣或氮氣流量監(jiān)控，還可用于環(huán)境采樣器（如色譜分析儀器等）
FS4003流量傳感器，管道內(nèi)徑為3mm，成本低測量范圍大到5SLPM；適用于粒子計數(shù)器和各類分析儀器。
FS4008流量傳感器，管道內(nèi)徑為8mm，測量范圍大到50SLPM；可用于麻醉設備、潔凈氣體檢測，如：空氣采樣機，氣體分析儀等
產(chǎn)品特點:
-專為管徑3mm和8mm的氣管中的低壓氣體流量測量而
-支持多種連接方式，易于安裝與使用
-傳感芯片采用熱質(zhì)量流量計量，無需溫度壓力補償，保證了傳感器的高精度計量
-在單個芯片上實現(xiàn)了多傳感器集成，使其量程比達到了100:1甚至更高
-輸出方式靈活，既可通過通訊接口主動上傳數(shù)據(jù)或由上位機查詢輸出數(shù)據(jù)，也可通過模擬接口輸出線性的模擬電壓
-零點穩(wěn)定度高
-全量程高穩(wěn)定性、高精確度和優(yōu)良的重復性
-低功耗、低壓損
-響應速度快
機械尺寸:
產(chǎn)品特點:
性能參數(shù) | FS4003 | FS4008 | 單位 |
通徑 | 3 | 8 | mm |
大流量 | 2, 3, 4, 5 | 10, 20, 30, 40, 50 | SLPM |
量程比 | ≥100:1 |
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精度 | ±(1.5+0.2FS) | % | |
重復性 | 0.25 | % | |
零點輸出飄移 | ±30 | mV | |
輸出飄移 | ±0.12 | %/℃ | |
響應時間 | 10（默認，50，100，200，500，1000可設置） | msec | |
工作電源 | 8~18Vdc,50mA |
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輸出方式 | 線性，RS232/RS485,模擬電壓0.5~4.5Vdc |
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大流量壓損 | 100 | 600 | Pa |
大工作壓力 | 0.5 | MPa | |
工作溫度 | -10 ~ + 55 | ℃ | |
存儲溫度 | -20 ~ + 65 | ℃ | |
工作濕度 | <95%RH（無結(jié)冰、無凝露） |
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機械接口 | BSPT1/4（R1/4）,4mm/6mm/8mm快速接頭 |
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校準方式 | 空氣（或其他氣體），20℃，101.325kPa |
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重量 | 57（帶R1/4,BSPT1/4接口） 71(帶4mm，8mm快速接口，68（帶6mm快速接頭) | g | |
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