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產(chǎn)地類別	國產(chǎn)	應(yīng)用領(lǐng)域	綜合

1、展板尺寸：200mm×200mm；200mm×100mm；100mm×100mm；

2、展開距離：10-200mm；

3、展距控制精度：≤1mm；

4、濕度控制圍：10-90%

5、氣體流量：0-160L/min；

儀器組成：

主機(jī)（含步進(jìn)電機(jī)、傳感器、控制器、展開槽）、展開儀工作站；可升級為梯度展開型；

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3、展距控制精度：≤1mm；

4、濕度控制圍：10-90%

5、氣體流量：0-160L/min；

儀器組成：

主機(jī)（含步進(jìn)電機(jī)、傳感器、控制器、展開槽）、展開儀工作站；可升級為梯度展開型；

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