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埃登威QZ361高純氣體露點(diǎn)儀采用才氧化鋁、氧化硅合成傳感器，響應(yīng)迅速，穩(wěn)定可靠。專(zhuān)門(mén)用于超高純氣體中的ppb含量微量水含量測(cè)量。在許多高純氣體的微量水含量測(cè)量的應(yīng)用中，如半導(dǎo)體行業(yè)，氣體水分含量對(duì)于產(chǎn)品工藝及產(chǎn)品質(zhì)量有著至關(guān)重要的影響。QZ361露點(diǎn)儀工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的材質(zhì)和生產(chǎn)過(guò)程結(jié)合，使得在線(xiàn)式高純氣體露點(diǎn)儀QZ361適合批量應(yīng)用于半導(dǎo)體制造或超高純氣體管路之中。 QZ361高純氣體露點(diǎn)儀是基于氧化鋁氧化硅合成技術(shù)，α-阿爾法相、γ-氧化鋁二氧化硅混合介質(zhì)制造工藝采用了前沿的原子層沉積技術(shù)。 傳感器的工作原理是基于多孔感濕 層對(duì)水分子的吸收。絕緣材料層厚度在10納米到50 微米之間;該吸濕介質(zhì)敏感材料二氧化硅薄膜厚度在 0.5 納米到 500 納米之間厚度。因此，當(dāng)周?chē)h(huán)境的濕度發(fā)生變化的時(shí)候，傳感器對(duì)濕度變化會(huì)做出極其快速的反應(yīng)。 QZ361高純氣體露點(diǎn)儀的優(yōu)點(diǎn) ● 高靈敏度，快速響應(yīng) ● 精確測(cè)量，高穩(wěn)定性 ● 操作簡(jiǎn)便，維護(hù)量低 ● 可選擇現(xiàn)場(chǎng)顯示器 設(shè)計(jì)優(yōu)勢(shì) ● 全新的氧化鋁氧化硅傳感器 ● 高達(dá)+/-2℃td 的寬量程精度測(cè)量 ● 自動(dòng)加熱校準(zhǔn)功能 ● 超快響應(yīng)速度及出色的長(zhǎng)期穩(wěn)定性 ● 出色的抗干擾能力 ● IP65防護(hù)等級(jí)，即使惡劣的環(huán)境下 也能提供良好的保護(hù) |
技術(shù)參數(shù)
| 測(cè)試范圍 | -120/-40℃ |
| 分辨率 | 0.1 |
| 響應(yīng)時(shí)間 | 5分鐘到T95（干到濕） |
| 精度 | ±2℃td （-60/-100°C），±4℃td （-100/-120°C） |
| 環(huán)境溫度 | -40°C-+70°C |
| 工作環(huán)境濕度 | <100RH，非冷凝 |
| 樣氣溫度 | 0-50°C |
| 采樣方式 | 通入式或抽氣式 |
| 樣氣流量 | 1000-5000mL/min（取樣池安裝）；0-10m/s管道直插式安裝 |
| 樣氣壓力 | 最高240Bar |
| 排氣壓力 | 自由排空 |
| 背景氣體 | He、H2、CO2、N2、惰性氣體等混合氣體 |
| 輸出 | DP數(shù)或ppm值 |
| 電源 | 24V |
| 輸出信號(hào) | 4-20mA 或RS485 |
| 傳感器壽命 | 一般6年以上 |
| 氣路接口 | ?" 外螺紋或 1/2" 外螺紋VCR 過(guò)程連接 |
| 重量 | 150G |
| 不銹鋼過(guò)濾網(wǎng) | 過(guò)濾等級(jí)40-50um |
典型應(yīng)用
氣體凈化系統(tǒng)
● 半導(dǎo)體制造
● 高純氣體
● 光纖生產(chǎn)
● 光學(xué)涂層過(guò)程
● 電子部件制造
● 特種氣體生產(chǎn)和分配
