目錄:上海喆圖科學(xué)儀器有限公司>>其它產(chǎn)品>>鍍膜機>> ZDM-90VHMDS真空鍍膜機
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,生物產(chǎn)業(yè) |
|---|
用途概述
HMDS真空鍍膜機化學(xué)名叫六甲基二硅胺烷（別名六甲基二硅氮烷），真空鍍膜機又稱基片預(yù)處理系統(tǒng)，喆圖真空鍍膜機對箱體內(nèi)預(yù)處理過程的工作溫度、工作壓力、處理時間、處理時保持時間等參數(shù)的控制，可以在硅片、襯底表面完成 成底膜的工藝。降低了光刻膠的用量，所有工藝都在密閉的環(huán)境中進行，沒有揮發(fā)，提高了安全性。主要適用于硅片、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料。
產(chǎn)品特點
l 采用PLC工控自動化系統(tǒng)，人機界面采用觸摸屏，可靠性高，操作智能方便；
l PLC控制系統(tǒng)具有自動控溫、任意定時、超溫報警等,彩色觸摸屏顯示,控溫準確可靠；
l 智能化觸摸屏控制系統(tǒng)，可根據(jù)不同制程條件改變程序、溫度、真空度及每一程序時間；
l 采用鋼化玻璃觀察窗，監(jiān)測方便，一體成型的硅橡膠門封，確保箱內(nèi)密封性好；
l 外殼和加熱管均采用不銹鋼材質(zhì)，內(nèi)膽不銹鋼，無易燃易爆裝置，無發(fā)塵材料；
l 以蒸汽的形式涂布到晶片表面，液態(tài)涂布均勻，可一次處理4盒以上的晶片，節(jié)省藥液。
l 去水烘烤和增粘（疏水）處理一機完成無需轉(zhuǎn)移，有效規(guī)避泄露的風(fēng)險；
l 氣體密閉式自動吸取添加設(shè)計，使真空箱密封性好，確保氣體不外漏；
l 多余的蒸汽（尾氣）由真空泵抽出，排放到專用廢氣收集管道，確保安全以及環(huán)保。
預(yù)處理系統(tǒng)的必要性
將涂到晶片表面后，經(jīng)真空鍍膜機加溫后可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物，它可將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?，起著耦合作用，可更好與光刻膠結(jié)合，保證涂膠工藝不影響光刻效果和顯影。
本身是表面改性，不會涂在圓片表面，上面涂膠不影響的處理效果。
處理后需要冷卻后涂膠，建議4小時內(nèi)完成涂膠。
HMDS真空鍍膜機預(yù)處理程序
(六甲基二硅胺)是黃光區(qū)最毒的東西，真空鍍膜機預(yù)處理程序為：打開真空泵抽真空，待腔內(nèi)真空度達到某一高真空度后，開始充入氮氣，充到一定低真空度后，再次進行抽真空、充入氮氣的過程，到達設(shè)定的充入氮氣次數(shù)后，開始保持一段時間，使硅片充分受熱，減少硅片表面的水分。然后再次開始抽真空，充入通過氮氣的氣體，在到達設(shè)定時間后，停止充入藥液，進入保持階段，使硅片充分與反應(yīng)。當(dāng)達到設(shè)定的保持時間后，再次開始抽真空。
充入氮氣，完成整個作業(yè)過程。
技術(shù)參數(shù)：
型號 | ZDM-90V | ZDM-125V | ZDM-215V |
電源電壓 | AC 220V 50Hz | ||
控制系統(tǒng) | PLC智能控制 | ||
儀表控制 | 彩色觸摸屏 | ||
控溫范圍 | RT+10-200℃ | ||
溫度分辨率 | 0.1℃ | ||
溫度波動度 | ±0.1 | ||
真空度 | ≤133pa | ||
內(nèi)膽尺寸 | 450*450*450 | 500*550*500 | 550*550*650 |
容積 | 90L | 125L | 210L |
載物托架 | 2層 | 3層 | 3層 |
(空格分隔,最多3個,單個標(biāo)簽最多10個字符)
20
化工儀器網(wǎng)