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            目錄:上海喆圖科學(xué)儀器有限公司>>其它產(chǎn)品>>鍍膜機>> ZDM-90VHMDS真空鍍膜機

            HMDS真空鍍膜機
            • HMDS真空鍍膜機
            參考價 面議
            具體成交價以合同協(xié)議為準
            參考價 面議
            具體成交價以合同協(xié)議為準
            • 品牌 GEMTOP/喆圖
            • 型號 ZDM-90V
            • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
            • 產(chǎn)品資料 查看pdf文檔
            • 所在地 上海市
            屬性

            產(chǎn)地類別:國產(chǎn) 應(yīng)用領(lǐng)域:化工,生物產(chǎn)業(yè)

            >

            更新時間:2025-03-06 14:40:47瀏覽次數(shù):847評價

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            HMDS真空鍍膜機化學(xué)名叫六甲基二硅胺烷(別名六甲基二硅氮烷),真空鍍膜機又稱HMDS基片預(yù)處理系統(tǒng),喆圖真空鍍膜機對箱體內(nèi)預(yù)處理過程的工作溫度、工作壓力、處理時間、處理時保持時間等參數(shù)的控制,可以在硅片、襯底表面完成 HMDS成底膜的工藝。降低了光刻膠的用量,所有工藝都在密閉的環(huán)境中進行,沒有HMDS揮發(fā),提高了安全性。主要適用于硅片、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料。

            用途概述

            HMDS真空鍍膜機化學(xué)名叫六甲基二硅胺烷(別名六甲基二硅氮烷),真空鍍膜機又稱基片預(yù)處理系統(tǒng),喆圖真空鍍膜機對箱體內(nèi)預(yù)處理過程的工作溫度、工作壓力、處理時間、處理時保持時間等參數(shù)的控制,可以在硅片、襯底表面完成 成底膜的工藝。降低了光刻膠的用量,所有工藝都在密閉的環(huán)境中進行,沒有揮發(fā),提高了安全性。主要適用于硅片、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料。

            產(chǎn)品特點

            l 采用PLC工控自動化系統(tǒng),人機界面采用觸摸屏,可靠性高,操作智能方便;

            l PLC控制系統(tǒng)具有自動控溫、任意定時、超溫報警等,彩色觸摸屏顯示,控溫準確可靠;

            l 智能化觸摸屏控制系統(tǒng),可根據(jù)不同制程條件改變程序、溫度、真空度及每一程序時間;

            l 采用鋼化玻璃觀察窗,監(jiān)測方便,一體成型的硅橡膠門封,確保箱內(nèi)密封性好;

            l 外殼和加熱管均采用不銹鋼材質(zhì),內(nèi)膽不銹鋼,無易燃易爆裝置,無發(fā)塵材料;

            l 以蒸汽的形式涂布到晶片表面,液態(tài)涂布均勻,可一次處理4盒以上的晶片,節(jié)省藥液。

            l 去水烘烤和增粘(疏水)處理一機完成無需轉(zhuǎn)移,有效規(guī)避泄露的風(fēng);

            l 氣體密閉式自動吸取添加設(shè)計,使真空箱密封性好,確保氣體外漏;

            l 多余的蒸汽(尾氣)由真空泵抽出,排放到專用廢氣收集管道,確保安全以及環(huán)保。


            預(yù)處理系統(tǒng)的必要性

            涂到晶片表面后,經(jīng)真空鍍膜機加溫后可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物,它可將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?,起著耦合作用,可更好與光刻膠結(jié)合,保證涂膠工藝不影響光刻效果和顯影。

            本身是表面改性,不會涂在圓片表面,上面涂膠不影響的處理效果。

            處理后需要冷卻后涂膠,建議4小時內(nèi)完成涂膠。

            HMDS真空鍍膜機預(yù)處理程序

            (六甲基二硅胺)是黃光區(qū)最毒的東西,真空鍍膜機預(yù)處理程序為:打開真空泵抽真空,待腔內(nèi)真空度達到某一高真空度后,開始充入氮氣,充到一定低真空度后,再次進行抽真空、充入氮氣的過程,到達設(shè)定的充入氮氣次數(shù)后,開始保持一段時間,使硅片充分受熱,減少硅片表面的水分。然后再次開始抽真空,充入通過氮氣的氣體,在到達設(shè)定時間后,停止充入藥液,進入保持階段,使硅片充分與反應(yīng)。當(dāng)達到設(shè)定的保持時間后,再次開始抽真空。

            充入氮氣,完成整個作業(yè)過程。


            技術(shù)參數(shù)

            型號

            ZDM-90V

            ZDM-125V

            ZDM-215V

            電源電壓

            AC 220V 50Hz

            控制系統(tǒng)

            PLC智能控制

            儀表控制

            彩色觸摸屏

            控溫范圍

            RT+10-200℃

            溫度分辨率

            0.1℃

            溫度波動度

            ±0.1

            真空度

            ≤133pa

            內(nèi)膽尺寸

            450*450*450

            500*550*500

            550*550*650

            容積

            90L

            125L

            210L

            載物托架

            2層

            3層

            3層












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