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真空傳感器

增強(qiáng)型皮拉尼真空傳感器

寬量程：0.01Pa～133kPa，抗沖擊和振動(dòng)

傳感器，可以配合真空控制器VGC301，B-Rax 3000系列或FlexRax 4000系列使用。相對(duì)于其他真空計(jì)擁有更多增強(qiáng)設(shè)計(jì)，溫度補(bǔ)償功能放置真空規(guī)管的外面，消除不必要的部件和焊接,大大提高了性,提供的真空測(cè)量,同時(shí)降低成本。改進(jìn)后受機(jī)械沖擊和振動(dòng)的影響較小。在入口有一個(gè)精細(xì)的網(wǎng)篩，有助于防止顆粒物的進(jìn)入。該表也可以有效防止射頻干擾。比熱電偶真空計(jì)量程范圍更寬廣，度更高。

應(yīng)用及案例
● 大學(xué)/研究所 ● 半導(dǎo)體
● 數(shù)據(jù)存儲(chǔ) ● 薄膜沉積
● 平板顯示 ● 分析儀器
● 工藝真空 ● 冶金工業(yè)
● 真空泵系統(tǒng)
產(chǎn)品特色
● 增強(qiáng)型皮拉尼規(guī)
● 寬泛的測(cè)量范圍：0.01Pa～133kPa
● 一個(gè)真空計(jì)就可以監(jiān)控您的真空抽氣和排氣系統(tǒng)
● 可替代Graville-Phillips系列使用
● 穩(wěn)健設(shè)計(jì)承受更多沖擊和振動(dòng)
● 低價(jià)位，為您節(jié)約成本
● 安裝和操作容易
技術(shù)指標(biāo)
測(cè)量范圍 1×10 -4 ～1000 Torr

1.3×10 -4 ～1333 mbar

1.3×10 -2 Pa～133 kPa

精度（N2,典型） 10 -4 ～10 -3 Torr；0.1 mTorr分辨率

10 -3 ～400 Torr；±10%讀數(shù)

400～1000 Torr；±2.5%讀數(shù)

重 復(fù) 性 ±2%讀數(shù)

工作溫度 0～50℃

烘烤溫度 150℃（于表，電子元件移除）

工作濕度 0～95％RH，非冷凝

安裝方向 水平（1 Torr以下安裝方式無影響）

接液材質(zhì) 鍍金鎢，304 和316 不銹鋼，玻璃，鎳，特氟龍

內(nèi)部容積 26 cm 3 （1.589 in 3）

內(nèi)部表面面積 59.7 cm 2（9.25 in 2）

泄 漏 率 ＜1×10 -9 atm cc/sec He

重 量 85 g（3 oz）

RF/EMI CE

環(huán)境 RoHS