美國(guó)ALICAT 21W系列低壓降質(zhì)量流量控制器，采用內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差技術(shù)，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運(yùn)動(dòng)。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補(bǔ)償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異，并對(duì)用戶標(biāo)準(zhǔn)工況進(jìn)行修正。具有NIST可溯源校準(zhǔn)證書(shū)。
21W系列具有超低壓損，滿量程壓損可達(dá)480 Pa。21W系列可用于快速精確地測(cè)量過(guò)程氣體的質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度，適用于多種流量測(cè)控場(chǎng)合，尤其是要求低壓損的應(yīng)用場(chǎng)合。
ALICAT 低壓損氣體質(zhì)量流量控制器 21W系列精度升級(jí)
量程為0.5 SCCM - 1000 SLPM，
其中10 SCCM - 100 SLPM量程段，下述指標(biāo)升級(jí)：
質(zhì)量流量普通精度 ± 0.75% 讀數(shù)或± 0.1% 滿量程（取最大值）
質(zhì)量流量高精度 ± 0.6% 讀數(shù)或± 0.1% 滿量程（取最大值）
重復(fù)性 ±（0.1% 讀數(shù) + 0.02% 滿量程）
質(zhì)量流量零點(diǎn)漂移 ± 0.03% 滿量程 / ℃溫差
± 0.01% 滿量程 / Atm壓力差
質(zhì)量流量量程漂移 ± 0.01% 讀數(shù) / ℃溫差
± 0.1 % 讀數(shù) / Atm壓力差
技術(shù)指標(biāo)
介質(zhì)要求 非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體
介質(zhì)種類 內(nèi)置了98種氣體，請(qǐng)參考?xì)怏w兼容表
一臺(tái)設(shè)備內(nèi)置所有氣體，用戶可現(xiàn)場(chǎng)選擇
量 程 從0 - 0.5 SCCM 到 0 - 1000 SLPM
量程可控比 0.5～100%滿量程
最大顯示流量 128 %滿量程
最大可控流量 102.4 % 滿量程
顯 示 屏 帶按鍵背光開(kāi)關(guān)，標(biāo)準(zhǔn)為L(zhǎng)CD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏
顯示方式 同時(shí)顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度
精 度 ±（0.8 % 讀數(shù) + 0.2 % 滿量程） 精度升級(jí)部分見(jiàn)左下角
±（0.4 % 讀數(shù) + 0.2 % 滿量程）（可選）
累計(jì)流量精度 流量精度之外增加±0.5%讀數(shù)誤差
重 復(fù) 性 ±（0.2 %讀數(shù)+0.02 %滿量程）
質(zhì)量流量溫度零點(diǎn)和滿量程漂移 0.03%滿量程/ ℃（從25℃開(kāi)始）
質(zhì)量流量壓力零點(diǎn)和滿量程漂移 ±（0.08 % 讀數(shù)+ 0.02 % 滿量程）/ Atm
（從校準(zhǔn)壓力開(kāi)始）
控制響應(yīng)時(shí)間（T63，用戶可調(diào)） 小閥門：30 ms；R閥門：150 ms
顯示響應(yīng)時(shí)間 127 ms（用戶可調(diào)）
預(yù)熱時(shí)間 ＜ 1 s
默認(rèn)標(biāo)況（STP） 25 ℃ & 1Atm（其它標(biāo)況可調(diào)）
閥門功能 常閉型
工作溫度 -10 ～ 60 ℃（可選高溫/低溫選項(xiàng)）
溫度精度 ± 0.75 ℃
工作濕度 0 ～ 95 %，無(wú)冷凝
最大工作壓力 0.3 MPa表壓，進(jìn)出口最大允許瞬時(shí)壓差70 Kpa
操作壓力 如果不做真空特殊標(biāo)定，建議在絕壓80 KPaA以上使用；
其他真空壓力建議做特殊標(biāo)定
壓力精度 ± 0.75 %讀數(shù)（＞1 Atm），或±0.1 PSIA（＜1Atm）
滿量程壓損 參考詳細(xì)壓損表
數(shù)據(jù)刷新頻率 數(shù)字信號(hào)40 Hz@19200波特率；模擬信號(hào)：1000 Hz
屏幕刷新頻率 10 Hz
數(shù)字輸入/輸出信號(hào) RS232、RS485、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT
EtherNet/IP、Profibus、Modbus RTU（RS232 / RS485）
模擬輸入/輸出信號(hào) 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA
可選第二路模擬輸出 質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度
模擬信號(hào)精度 在基礎(chǔ)誤差上額外增加 ± 0.1 % 滿量程誤差
供電電壓 12 - 30 VDC
供電電流 250 mA，1 A，2 A（詳情咨詢），額外加 40 mA（4-20 mA）
電氣接口 DB9M，可選DB15、6針工業(yè)接頭、8針Mini-DIN等
泄漏率（外漏） 選擇HLC選項(xiàng)，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He
材 質(zhì) 302、303、304、430FR不銹鋼、Viton、硅橡膠、環(huán)氧樹(shù)脂、
玻璃增強(qiáng)聚苯硫醚、鋁、玻璃、硅、銅、金
R閥門430FR不銹鋼替換為410不銹鋼
過(guò)程連接 詳情參考?jí)簱p表
安裝位置 小閥門無(wú)要求，R閥門需閥體垂直向上安裝
防護(hù)等級(jí) IP40
認(rèn) 證 ISO 9001、NIST溯源認(rèn)證、CE、RoHS、REACH聲明、CSA （可選）
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