美國(guó)ALICAT 21VS系列帶截止閥抗腐蝕型質(zhì)量流量控制器，采用內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差技術(shù)，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運(yùn)動(dòng)。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補(bǔ)償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異，并對(duì)用戶(hù)標(biāo)準(zhǔn)工況進(jìn)行修正。所有Alicat質(zhì)量流量控制器均具有NIST可溯源校準(zhǔn)證書(shū)。Alicat的21VS系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器可用于快速精確地測(cè)量并控制腐蝕性氣體(如NH3、H2S、SiH4等)的質(zhì)量流量、體積流量、壓力，并顯示氣體溫度。此外，21VS系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器是專(zhuān)為需要緊密關(guān)閉應(yīng)用而設(shè)計(jì)的，如真空鍍膜和濺射過(guò)程等。該集成氣動(dòng)切斷閥是常閉的，并且在閉合狀態(tài)下其最大氦氣泄漏率僅為1x10 atm scc/s。
ALICAT 截止閥質(zhì)量流量控制器 21VS系列產(chǎn)品特色
● 數(shù)字化產(chǎn)品
● 帶氣動(dòng)截止閥，泄漏率低
● 多參數(shù)顯示和輸出：溫度、壓力、流量等
● 多參數(shù)控制:體積流量、質(zhì)量流量和壓力
● 可選高精度 優(yōu)于0.5%
● 高量程比 100：1
● 響應(yīng)時(shí)間快 僅需100 ms（可調(diào)）
● 內(nèi)置128種常規(guī)以及腐蝕性氣體
● 可現(xiàn)場(chǎng)標(biāo)定混合氣體（最多5種成分），并存儲(chǔ)20種混合氣
● 可適用于諸多腐蝕性氣體
技術(shù)指標(biāo)
介質(zhì)要求 潔凈、干燥的氣體，腐蝕和非腐蝕性均可
介質(zhì)種類(lèi) 內(nèi)置了128種氣體，請(qǐng)參考“產(chǎn)品資料下載"中氣體兼容表一臺(tái)設(shè)備內(nèi)置所有氣體，用戶(hù)可現(xiàn)場(chǎng)選擇
量 程 從0-0.5SCCM 到 0-20SLPM
量 程 比 100:1
最大顯示流量：102.4%FS
顯 示 屏 帶按鍵，標(biāo)準(zhǔn)為L(zhǎng)CD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏
顯示方式 同時(shí)顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度
精 度 ± (0.8%RD+0.2%FS)，RD-讀數(shù) FS-滿(mǎn)量程
高 精 度 ±(0.4%RD + 0.2%FS)，選配
僅適用于量程為5SCCM-500SLPM的設(shè)備
閥門(mén)泄漏率 不超過(guò)1x10 atm scc/sec (He)
重 復(fù) 性 ± 0.2% FS
零點(diǎn)漂移&滿(mǎn)量程漂移 0.02% FS / ℃ / Atm
響應(yīng)時(shí)間 100ms 預(yù)熱時(shí)間：<1s
標(biāo)定工況 25℃ & 100kPa 絕壓
20℃ & 100kPa 絕壓
0 ℃ & 100kPa 絕壓 (三種工況現(xiàn)場(chǎng)可切換)
工作溫度 -10 ～ +50 ?C
工作濕度 0-100%,無(wú)冷凝
標(biāo)準(zhǔn)最大工作壓力 1MPa 表壓
標(biāo)準(zhǔn)極限耐壓 1.2MPa 表壓
中壓選項(xiàng) 2MPa
數(shù)字輸入/輸出信號(hào)：RS232或RS485或Modbus或Profibus*
模擬輸入/輸出信號(hào)：0-5Vdc或1-5Vdc或0-10Vdc或4-20mA可選第二路模擬輸出：質(zhì)量流量或體積流量或壓力或溫度
供電電壓 7-30 Vdc (如選4-20 mA輸出，須為15-30 Vdc)
供電電流 250mA ～ 750mA
電氣接口 8針Mini-DIN或DB9或DB15或6針工業(yè)接頭
材 質(zhì) 316L不銹鋼、303不銹鋼, 430FRSS, FFKM (Kalrez)
可根據(jù)特殊氣體選用Viton, EPDM, Buna, Neoprene
安裝方式 對(duì)位置無(wú)要求
防護(hù)等級(jí) IP40
* 如選Profibus，則無(wú)模擬信號(hào)，無(wú)顯示，其供電電壓及供電電流需咨詢(xún)我們
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