自動(dòng)化薄膜厚度繪圖系統(tǒng)

依靠F50薄膜厚度測(cè)量?jī)x的光譜測(cè)量系統(tǒng)，可以簡(jiǎn)單且快速地獲得直徑450毫米的樣品薄膜的厚度分布圖。采用r-θ極坐標(biāo)移動(dòng)平臺(tái)，可以快速的定位所需測(cè)試的點(diǎn)并測(cè)試厚度，測(cè)試非?？焖?，大約每秒能測(cè)試兩點(diǎn)。用戶可以自己繪制需要的點(diǎn)位地圖。F50系統(tǒng)配置精度高使用壽命長(zhǎng)的移動(dòng)平臺(tái)，以求能夠做成千上萬(wàn)次測(cè)量。

系統(tǒng)中預(yù)設(shè)了許多極坐標(biāo)形、方形和線性的圖形模式，也可以編輯自己需要的測(cè)試點(diǎn)。只需掌握基本電腦技術(shù)便可在幾分鐘內(nèi)建立自己需要的圖形模式。

F50薄膜厚度測(cè)量?jī)x可測(cè)樣品膜層

基本上光滑的，非金屬的薄膜可以測(cè)量?？蓽y(cè)樣品包括：