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            leybold萊寶殘余氣體分析儀的工作原理介紹

            時間:2023/4/6閱讀:982
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            leybold萊寶殘余氣體分析儀的工作原理介紹


            首先LEYSPEC 殘余氣體分析儀 (RGA) 產(chǎn)品系列可實(shí)現(xiàn)簡單直觀的操作。

            按下按鈕,即可顯示關(guān)鍵氣體的分壓,如果您的工藝涉及額外的氣體,還可以將其分配到備用顯示通道進(jìn)行顯示。 

            LEYSPEC 可達(dá)到較高的加熱除氣溫度,因此非常適合在要求苛刻的高真空和超高真空應(yīng)用中使用。 


            leybold萊寶殘余氣體分析儀的工作原理

            測量元件是一個熱陰極電離真空計。電子從熱絲中發(fā)射出來,并通過電偏壓裝置加速射向源位置??焖僖苿拥碾娮优c氣體分子發(fā)生碰撞,撞出電子,從而對氣體進(jìn)行電離。正氣體離子向帶負(fù)電的離子收集器提供電流。離子電流與壓力成比例。離子越多,離子電流越高。四極陣列由四個不銹鋼電極組成。直流和高頻電壓施加到所有電極后,會形成一個復(fù)雜的磁場。通過改變電壓,可以控制該磁場。 


            產(chǎn)生的振動只允許特定質(zhì)量的離子“飛過"并到達(dá)檢測部分: 

            具有適當(dāng)質(zhì)荷比 (m/e) 的離子將以穩(wěn)定的三維軌跡振蕩通過電極。 

            質(zhì)荷比不正確的離子將不受控制地發(fā)生振蕩,并與電極發(fā)生碰撞

            離子到達(dá)離子收集器并產(chǎn)生輸出電流,該電流用于度量通過濾波器的離子相對豐度。離子電流或分壓與質(zhì)荷比的關(guān)系隨后顯示在裝置上或軟件中。

            根據(jù)所述工作原理,LEYSPEC RGA 通過查找和顯示氣體成分來驗(yàn)證氣體純度。這使 LEYSPEC 能夠識別氣體污染物,并執(zhí)行進(jìn)一步的工藝和設(shè)備控制,從而全面優(yōu)化工藝性能和產(chǎn)量。

            image.png

            一體化儀器,操作簡單直觀

            LEYSPEC 殘余氣體分析儀具有高靈敏度,可檢測痕量的污染物或工藝氣體。該產(chǎn)品系列具有針對 100、200 和 300 amu 的解決方案。在惡劣環(huán)境中操作時,可實(shí)現(xiàn)高達(dá) 300 °C 的加熱除氣溫度。


            LEYSPEC 自帶軟件并集成了控制和顯示裝置,可通過它們直觀地實(shí)現(xiàn)操作。無需連接到計算機(jī)即可進(jìn)行簡單的殘余氣體分析。只需按一下按鈕即可顯示關(guān)鍵氣體,還有一個備用顯示界面,用于顯示額外的氣體。


            它們也適用于高真空系統(tǒng)中要求嚴(yán)格的測試程序和殘余氣體分析。

            憑借 LEYSPEC 的預(yù)安裝功能,如氦氣泄漏測試、可選氣體的警告和錯誤級別,以及啟動后脫氣功能或通氣功能,此殘余氣體分析儀對于任何系統(tǒng)來說都是一個有益補(bǔ)充。

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