leybold萊寶真空計(jì)測(cè)量原理分類闡述

真空系統(tǒng)工藝應(yīng)用，需要測(cè)量真空性能。用于真空測(cè)量的設(shè)備被稱為真空計(jì)，測(cè)量范圍從高于大氣壓 (~ 2000 mbar (1500 Torr)) 至 10-12 mbar/torr ，沒(méi)有任何一種技術(shù)能夠在此大范圍內(nèi)測(cè)量。

因此，萊寶提供了多種不同的真空計(jì)，每種真空計(jì)都有自己的特點(diǎn)，能夠在自己的量程內(nèi)測(cè)量真空。為了擴(kuò)大測(cè)量范圍，可以將多種技術(shù)組合到一個(gè)真空計(jì)中，以減少系統(tǒng)中所需的連接。  

真空測(cè)量原理分類：直接測(cè)量和間接測(cè)量。

如果是直接測(cè)量（測(cè)量結(jié)果氣體種類無(wú)關(guān)），通過(guò)真空計(jì)獲得的讀數(shù)與氣體類型無(wú)關(guān)，測(cè)得的壓力始終是系統(tǒng)的真實(shí)壓力。這些真空計(jì)通常依靠膜片的機(jī)械偏轉(zhuǎn)來(lái)運(yùn)行，其測(cè)量范圍是從高于大氣壓力至 10-4 mbar/torr 壓力。此類真空計(jì)可以在較小量程內(nèi)提供高精度，并且通常非常堅(jiān)固。 

如果是間接測(cè)量，測(cè)量通過(guò)氣體相關(guān)特性（例如熱導(dǎo)率、電離概率）進(jìn)行測(cè)定。這些特性不僅取決于壓力，還取決于氣體的摩爾質(zhì)量，所以測(cè)量結(jié)果與氣體種類相關(guān)。真空計(jì)讀數(shù)以的空氣或氮?dú)鈽?biāo)定，對(duì)于其他蒸汽或氣體，必須增加相應(yīng)的修正系數(shù)。此類真空計(jì)能夠在更廣的范圍（大氣壓至 10 x 10-12mbar 壓力，具體取決于真空計(jì)類型/組合）測(cè)量，但精度略低。 

區(qū)分真空計(jì)的另一個(gè)判斷依據(jù)是傳感器還是變送器。萊寶既提供真空變送器，也提供真空傳感器。

真空變送器是指將傳感器與信號(hào)控制和輸出電子器件結(jié)合在一起，以便輕松集成到系統(tǒng)中。 

無(wú)源測(cè)量是指將傳感器與電子器件分離，然后將電子器件單獨(dú)保留在專用控制器中。其優(yōu)點(diǎn)是，它們可在電子器件無(wú)法正常工作的環(huán)境（例如高輻射環(huán)境）中使用，并且可以從上述環(huán)境中移除單獨(dú)的控制器。

寬量程真空測(cè)量

在寬泛的真空范圍內(nèi)進(jìn)行穩(wěn)定、可靠、準(zhǔn)確的壓力測(cè)量。

THERMOVAC TTR/TR 系列 - 特別適用于監(jiān)控粗真空和前級(jí)真空。 

PENNINGVAC PTR/PR 系列 – 支持高真空測(cè)量，也稱為全量程真空計(jì)。

IONIVAC ITR/IE 系列 – 將真空計(jì)量程擴(kuò)展到超高真空范圍。

leybold萊寶真空計(jì)測(cè)量原理分類闡述

精密真空測(cè)量

在惡劣的環(huán)境中實(shí)現(xiàn)高水平的準(zhǔn)確性和重復(fù)性，這些真空計(jì)是精細(xì)系統(tǒng)控制的理想選擇。

CERAVAC CTR 真空計(jì) - 電容薄膜真空計(jì)系列的好選擇。

DI/DU 真空計(jì) - 準(zhǔn)確性略低，但適用于臟污/潮濕/多塵環(huán)境。

真空泵和真空計(jì)控制器

對(duì)既需要顯示測(cè)量結(jié)果又將測(cè)量結(jié)果集成到控制系統(tǒng)中的需求，萊寶提供一系列控制器，可供您選擇。