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低溫泵是利用低溫表面冷凝氣體的真空泵，又稱冷凝泵。低溫泵可以獲得抽氣速率Z大、極限壓力Z低的清潔真空，廣泛應用于半導體和集成電路的研究和生產，以及分子束研究、真...

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