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            目錄:華儀行(北京)科技有限公司>>CIF材料表面處理儀器>>CIF等離子清洗機(jī)>> CPC-10/PlusCIF中試型等離子清洗機(jī)CPC-10系列

            CIF中試型等離子清洗機(jī)CPC-10系列
            • CIF中試型等離子清洗機(jī)CPC-10系列
            • CIF中試型等離子清洗機(jī)CPC-10系列
            參考價(jià) 面議
            具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
            參考價(jià) 面議
            具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
            • 品牌 CIF
            • 型號(hào) CPC-10/Plus
            • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
            • 所在地 北京市
            屬性

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            >

            更新時(shí)間:2024-10-25 15:59:51瀏覽次數(shù):2417評(píng)價(jià)

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            CIF推出全新一代 CPC-10系列實(shí)驗(yàn)室型等離子體清洗設(shè)備, 改變傳統(tǒng)等離子體清洗設(shè)備設(shè)計(jì)理念。具有較大的腔體尺寸和有效樣 品處理面積, 使用成本低, 性價(jià)比高, 處理快速高效, 特別適合于大學(xué), 科研院所和光電企業(yè)實(shí)驗(yàn)室小批量中試生產(chǎn)。

            產(chǎn)品特點(diǎn):

            ◆  7 寸彩色觸摸屏中英文互動(dòng)操作界面,自動(dòng)控制監(jiān)測(cè)工藝參數(shù)狀態(tài),20 個(gè)配方程序,工藝數(shù)據(jù)可存儲(chǔ)追溯。

            ◆  PLC 工控機(jī)控制整個(gè)清洗過(guò)程,手動(dòng)、自動(dòng)兩種工作模式。

            ◆  石英真空艙,真空管路系統(tǒng)采用 316 不銹鋼材質(zhì),耐腐蝕無(wú)污染。

            ◆  采用質(zhì)量流量計(jì),實(shí)現(xiàn)對(duì)氣體輸入精準(zhǔn)控制,改變傳統(tǒng)浮子流量計(jì)控制氣體流量不準(zhǔn)確問(wèn)題。

            ◆  HEPA 高效過(guò)濾,氣體返填吹掃,防止二次污染。

            ◆  60 度傾角操作界面設(shè)計(jì),符合人體功能學(xué),操作方便,界面友好。

            ◆  頂置真空艙,上開(kāi)蓋設(shè)計(jì),下壓式鉸鏈開(kāi)關(guān)方式,開(kāi)關(guān)蓋方便。

            ◆  采用花灑式多孔進(jìn)氣方式,改變傳統(tǒng)等離子清洗機(jī)單孔進(jìn)氣不均勻問(wèn)題。

            ◆  上置式 360 度自由水平取放樣品托盤(pán)設(shè)計(jì),符合人體功能學(xué),操作更方便。

            ◆  有效清洗面積大,可清洗最大直徑 8 吋硅片。

            ◆  安全保護(hù),艙門(mén)打開(kāi),自動(dòng)關(guān)閉電源。


            技術(shù)參數(shù):

             

            型號(hào)

            CPC-10

            CPC-10plus

            CPC-10M

            CPC-10Mplus

            射頻電源

            40KHz

            13.56MHz

            40KHz

            13.56MHz

            射頻功率

            0-600W

            0-300W

            0-600W

            0-300W

            匹配器

            自動(dòng)匹配

            自動(dòng)匹配

            激發(fā)方式

            電容式

            電容式

            氣體控制

            雙浮子流量計(jì)

            單路 MFC(可選兩路)

            艙體尺寸

            L300xΦ215mm

            L300xΦ215mm

            艙體容積

            10.8L

            10.8L

            艙體材質(zhì)

            不銹鋼

            不銹鋼

            有效處理尺寸

            L300xW215mm

            L300xW215mm

            時(shí)間設(shè)定

            9999 秒

            9999 秒

            真空泵

            抽速 8m3/h

            抽速 8m3/h

            氣體穩(wěn)定時(shí)間

            1 分鐘

            1 分鐘

            真空度

            100pa 以內(nèi)

            100pa 以內(nèi)

               

            AC220V 50/60Hz  766/466W

            AC220V 50/60Hz  752/452W

            產(chǎn)品尺寸

            L645xW550xH495mm

            L645xW550xH495mm

            包裝尺寸

            L750xW700xH720mm

            L750xW700xH720mm

            整機(jī)重量

            55kg

            55kg

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