儀器簡(jiǎn)介：

HALO 201 MBE 分子束外延殘余氣體分析四極質(zhì)譜儀用于泄漏探測(cè)、趨勢(shì)分析、真空診斷的過程監(jiān)測(cè)和殘余氣體的分析。 該分子束外延特定分析質(zhì)譜儀由兼容性材料組成，并能在分子束外延環(huán)境中長(zhǎng)期使用。

主要特點(diǎn)：

1、鉬銅布線增加MBE環(huán)境下系統(tǒng)的壽命

2、抗污染離子源護(hù)罩

3、雙法拉第/ channelplate電子倍增器

HALO 201 MBE 殘余氣體分析四極質(zhì)譜儀技術(shù)規(guī)格：

·質(zhì)量數(shù)范圍：1～300 amu

·掃描速度：100amu/s

·小掃描步階：0.01amu

·靈敏度：0.1 ppm～1ppm

·穩(wěn)定性：24h以上，峰高變化小于±0.5%

·小檢測(cè)分壓：2 x 10-13 mbar

·大工作壓力：1 x 10-4 mbar