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真空等級
在密閉的空間中，空氣被抽出成為無空氣
的空間。氣室內(nèi)的空氣減少，氣壓下降，
產(chǎn)生真空。封閉空間中的空氣量越少，氣
壓越低，真空度越高。真空度分為四級。
高于1 mbar的氣壓為低真空度。低于該氣
壓時，為中等真空度。低于0.001 mbar為
高真空度，達到或低于0.000 000•1•mbar
為超高真空度。
真空應(yīng)用
真空需要一個密閉的空間不存在任何空氣，
因此也不存在任何懸浮顆粒，不允許任
何“異物”存在。有時需要在真空中測量
尺寸，例如需要檢查亞微米級的超精細結(jié)
構(gòu)或需要切分和檢查顆粒。直線光柵尺和
角度編碼器在真空中的常見應(yīng)用包括電子
顯微鏡、機械手、多路執(zhí)行器、XY工作
臺、電子束顯微鏡，半導體工業(yè)的圓晶檢
查或測量同步加速器輻射的光譜儀軸。
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