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產(chǎn)品特點：
1. 5寸彩色觸摸屏操作界面，采用45°傾斜角度設(shè)計，符合人體工程學(xué)，操作簡單友好。
2. PLC自動監(jiān)測控制工藝參數(shù)，參數(shù)可存儲，手動、自動兩種模式任意切換。
3. 艙門，流量計內(nèi)凹式設(shè)計，防止不小心磕碰損壞，更大氣美觀。
4. 松下高精度數(shù)字真空壓力表，實時檢測顯示艙體內(nèi)真實真空度，提供論文真實數(shù)據(jù)。
5. 氣體浮子流量計或質(zhì)量流量計（MFC），可對多種氣體精準(zhǔn)控制。
6. 不銹鋼或石英真空艙體可選，艙體管路采用耐腐蝕材料。
7. 進氣端口，氣體返填端口均配有HEPA高效過濾器，有效過濾空氣中污染顆粒及水分。
8. 真空泵配有油霧過濾器，可有效隔絕油氣溢散，保護實驗環(huán)境。
9. 使用成本低，無需進行特殊維護，日常使用中保持儀器清潔即可。
10. 具備優(yōu)良的安全保護措施，射頻模塊溫度異常升高時，自動關(guān)閉電源，保護樣品，提高設(shè)備安全性和穩(wěn)定性。
等離子清洗機應(yīng)用領(lǐng)域，納米材料學(xué)，半導(dǎo)體，微電子，光學(xué)，電子學(xué)，微流控生物學(xué)，石墨烯，再造醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域
技術(shù)參數(shù)
型號 | PC-5S | PC-5S13 | PC-5D | PC-5D13 |
射頻電源 | 40KHZ | 13.56MHZ | 40KHZ | 13.56MHZ |
射頻電源功率 | 0-200W | 0-150W | 0-200W | 0-150W |
匹配器 | 無 | 自動匹配 | 無 | 自動匹配 |
激發(fā)方式 | 電容式 | 電容式 | 電容式 | 電容式 |
艙體容積 | 5L | 5L | 5L | 5L |
艙體尺寸 | D245mm*?155mm | D245mm*?155mm | D245mm*?155mm | D245mm*?155mm |
艙體材質(zhì) | 不銹鋼 | 不銹鋼 | 不銹鋼 | 不銹鋼 |
載物板尺寸 | L245mm*W155mm | L245mm*W155mm | L245mm*W155mm | L245mm*W155mm |
HEPA高效過濾器 | 最小過濾0.22um | 最小過濾0.22um | 最小過濾0.22um | 最小過濾0.22um |
氣體控制 | 單浮子流量計可選質(zhì)量流量計（MFC） | 單浮子流量計可選質(zhì)量流量計（MFC） | 雙浮子流量計可選質(zhì)量流量計（MFC） | 雙浮子流量計可選質(zhì)量流量計（MFC） |
氣體壓力穩(wěn)定時間 | 60s | 60s | 60s | 60s |
工作時間設(shè)定 | 1秒-99分59秒可調(diào) | 1秒-99分59秒可調(diào) | 1秒-99分59秒可調(diào) | 1秒-99分59秒可調(diào) |
真空度 | 100par | 100par | 100par | 100par |
真空泵 | 抽速8m3/h | 抽速8m3/h | 抽速8m3/h | 抽速8m3/h |
電源 | AC220v5060HZ | AC220v5060HZ | AC220v5060HZ | AC220v5060HZ |
產(chǎn)品尺寸 | L41*W38*H50cm | L41*W38*H50cm | L41*W38*H50cm | L41*W38*H50cm |
包裝尺寸 | L49*W46*H58cm | L49*W46*H58cm | L49*W46*H58cm | L49*W46*H58cm |
整機凈重 | 18kg | 32kg | 18kg | 32kg |
