持久的正常運(yùn)行時(shí)間、優(yōu)異的性能長期接觸活性腐蝕性工藝氣體的真空閥十分容易出現(xiàn)嚴(yán)重磨損，尤其是用于隔離遠(yuǎn)程等離子源以進(jìn)行氣體清潔的真空閥。以前，維護(hù)或更換這些真空閥常常會(huì)導(dǎo)致生產(chǎn)中斷，但這已成為歷史。

24.2 角閥樹立了耐磨性新標(biāo)準(zhǔn)。經(jīng)證明，在實(shí)際應(yīng)用中，其平均正常運(yùn)行時(shí)間可在現(xiàn)有解決方案基礎(chǔ)上提高一倍，而在某些情況下，甚至可以大幅超過這一基準(zhǔn)。

24.2 角閥配備針對(duì)等離子清潔應(yīng)用進(jìn)行優(yōu)化的關(guān)閉機(jī)構(gòu)，便于精確操作隔離閥，并且耐用性高，維護(hù)量極少。

然而，大多數(shù)用于等離子清潔領(lǐng)域的真空閥也存在缺點(diǎn)，例如閘封。閘封無法抵抗腐蝕性等離子氣體或氟化形成的自由基。不過，24.2 角閥使用鐘形關(guān)閉閥代替普通關(guān)閉閥，這一問題便迎刃而解。

有了鐘形閥，便可在等離子流外部的深密封槽中放置密封件，從而更有效地防止過早磨損。不僅如此，鐘形閥還可以重新設(shè)計(jì)流導(dǎo)。等離子流經(jīng)過優(yōu)化設(shè)計(jì)后，24.2 角閥的電導(dǎo)率比傳統(tǒng)角閥高出 40%。這減少了通過瓶頸或湍流時(shí)損失的能量，進(jìn)而增加了等離子流的功率。

最新研發(fā)設(shè)計(jì)的軸饋通件可保護(hù)饋通密封件免受過大的熱應(yīng)力。此外，還采用了專門的軸饋通件輸送盒，用于將鐘形關(guān)閉閥與饋通件熱分離，防止發(fā)生直接熱傳導(dǎo)。而且，閥體與鐘形關(guān)閉閥之間的間隙尺寸經(jīng)過精確設(shè)置，可防止等離子穿透并大程度減少其造成的影響。

24.2 角閥已在要求苛刻的各種等離子清潔工藝中證明了性能。其采用模塊化設(shè)計(jì)，因此可以輕松改造現(xiàn)有系統(tǒng)。

24.2 角閥的尺寸為 DN 16，提供鋁制款，配有雙作用氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)器。其他尺寸和內(nèi)聯(lián)閥可根據(jù)要求提供。

這款角閥采用被動(dòng)式風(fēng)冷結(jié)構(gòu)，無需水冷。不過，也可選配主動(dòng)式風(fēng)冷結(jié)構(gòu)，并使用與驅(qū)動(dòng)器相同的壓縮空氣進(jìn)行操作。無論是被動(dòng)式風(fēng)冷結(jié)構(gòu)，還是可選配的主動(dòng)式風(fēng)冷結(jié)構(gòu)，都能夠直接有效地保護(hù)溫度敏感密封面，實(shí)現(xiàn)均勻的密封。

除了標(biāo)準(zhǔn)的 FKM (Viton®) 密封材料外，動(dòng)態(tài)密封件和靜態(tài)密封件還可采用可選的高溫 FFKM (Kalrez®) 材料，以進(jìn)一步提高耐磨性，甚至無需主動(dòng)冷卻。此外，也可根據(jù)客戶要求提供定制化的密封材料。

KF 法蘭為 24.2 角閥標(biāo)配。當(dāng)然，也可添加客戶特定的法蘭作為選件。專為電絕緣而設(shè)計(jì)的塑料法蘭夾可作為配件提供，用于提供額外的電流傳播保護(hù)。

24.2 角閥經(jīng)過專門設(shè)計(jì)，不僅能夠提供高耐磨性，而且易于維護(hù)。只需松開四顆螺釘，執(zhí)行幾個(gè)簡(jiǎn)單步驟即可更換所有相關(guān)部件，例如靜態(tài)密封件和動(dòng)態(tài)密封件或輸送盒。除此之外，還提供維護(hù)套件，便于實(shí)施快速可靠的維護(hù)流程。