 |
上海申思特自動化設備有限公司
主營產(chǎn)品： 美國E E傳感器,美國E E減壓閥,意大利ATOS阿托斯油缸,丹麥GRAS麥克風,丹麥GRAS人工頭, ASCO電磁閥,IFM易福門傳感器 |
10
聯(lián)系電話
|
上海申思特自動化設備有限公司
主營產(chǎn)品： 美國E E傳感器,美國E E減壓閥,意大利ATOS阿托斯油缸,丹麥GRAS麥克風,丹麥GRAS人工頭, ASCO電磁閥,IFM易福門傳感器 |
聯(lián)系電話
| 參考價 | 面議 |
更新時間：2016-12-26 17:04:03瀏覽次數(shù)：861
聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息，謝謝!
硅微諧振試E+E壓力傳感器設計與制作
硅微諧振式E+E壓力傳感器是zui近剛發(fā)展起來的具有靈敏度高、性能穩(wěn)定、體積小、功耗低等優(yōu)點的新型傳感器件,其輸出的頻率信號可直接與數(shù)字接口相連，克服了傳統(tǒng)壓阻式E+E壓力傳感器抗干擾性差的缺點。
硅微諧振試E+E壓力傳感器設計與制作
首先根據(jù)傳統(tǒng)的諧振式E+E壓力傳感器的理論思想，提出了兩種不同諧振梁結構的諧振式E+E壓力傳感器：SiO2-Si3N4-SiO2復合諧振梁結構和Si3N4對角諧振梁結構。兩種結構都選用電熱激勵-壓阻拾振方法，復合梁結構的激勵電阻以及拾振電阻采用多晶硅電阻，對角梁結構的激勵電阻以及拾振電阻采用鉑電阻。以固支梁的力學和振動學理論為基礎，深入剖析了諧振式E+E壓力傳感器的模型。對于任何用途的E+E壓力傳感器都要進行靜態(tài)特性的性能分析和測試,本文通過介紹E+E壓力傳感器的原理及運用,以及評定E+E壓力傳感器性能的各項技術指標和技術特性,闡述了E+E壓力傳感器在檢定過程中產(chǎn)生的各分量對測量結果的影響,從而保證了檢測結果的準確性,使檢定過程得到了有效的控制。采用ANSYS軟件建立諧振式E+E壓力傳感器的仿真模型，并對建立的模型進行了電熱、模態(tài)以及諧響應有限元分析，確定了芯片的*結構尺寸，有限元分析結果表明，對于確定尺寸的SiO2-Si3N4-SiO2復合梁結構的諧振式E+E壓力傳感器靈敏度達到了63.5Hz/KPa，對于確定尺寸的Si3N4對角梁結構的諧振式E+E壓力傳感器靈敏度為16.24Hz/KPa。針對不同參數(shù)屬性,依據(jù)疲勞強度計算需求,構建有限元數(shù)值計算模型;根據(jù)影響傳感器壽命的傳感單元單晶硅S-N(應力-循環(huán))分布,完成變載荷輸入條件下模型疲勞分析,依據(jù)數(shù)值計算結果完成該E+EE+E壓力傳感器壽命預測工作?；贛EMS加工工藝，設計了SiO2-Si3N4-SiO2復合諧振梁結構和Si3N4對角諧振梁結構制作工藝流程，zui后，簡單介紹了諧振式E+E壓力傳感器的封裝設計以及測試電路設計。
硅微諧振試E+E壓力傳感器設計與制作
結果表明:E+E壓力傳感器使用壽命在7.068E8次數(shù)以上。本課題研究提出的新方法,擺脫了傳統(tǒng)依靠試驗完成多種材料組成結構體的疲勞分析及壽命預測窘境,制作工藝中發(fā)現(xiàn)多晶硅犧牲層技術能夠更好的得到復合梁結構，通過各向異性腐蝕技術制作的對角梁結構工藝簡單。具有通用性。
