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當(dāng)前位置：> 供求商機> Horiba 質(zhì)量流量控制器 SEC-N100系列
特征
大范圍控制，從微小流量至大量程，10SCCM~1000SLM
多種通訊方式及電源供給
Horiba 質(zhì)量流量控制器 SEC-N100系列
n數(shù)字式/ 模擬式通信
lRS-485/DeviceNet/Profibus/模擬式（電流/電壓）
l可與其它系列產(chǎn)品兼容
n復(fù)合氣體 / 復(fù)合量程
l可以方便的在客戶端更改對應(yīng)氣體和量程
n高精度控制： ±1.0% 設(shè)定流量.
l選用與SEC-Z500系列相同的sensor和bypass.
n快速響應(yīng)： 在可控流量范圍內(nèi),響應(yīng)時間≦1 sec
l內(nèi)置PID參數(shù)，可以調(diào)整響應(yīng)時間
n氣閥種類
l 電磁閥 (~50SLM)
l 壓電陶瓷閥 (100/200SLM)
n密封圈材質(zhì) ：橡膠 或 金屬
n氣路表面 ： 未經(jīng)拋光處理
n接口 ： 僅有VCR接口
nRoHS要求： 滿足RoHS要求
Horiba 質(zhì)量流量控制器 SEC-N100系列
型號 | 選擇通訊方式 | 選擇供電方式 |
SEC-N102 系列 | 數(shù)字式信號傳輸 ?RS485 F-NET協(xié)議 模擬式通訊 ?0～5VDC | HORIBA可提供PE系列供應(yīng)電源 |
SEC-N104 系列 | DeviceNet™ 通訊 | 符合ODVA標(biāo)準(zhǔn) |
SEC-N105 系列 | CC-Link®通訊 模擬式通訊 ?0 to 5VDC, 0 to 10VDC 4 to 20mA | 符合 CC-Link®標(biāo)準(zhǔn) 24VDC(13 ~ 32VDC) |
| PROFIBUS™ 通訊方式 |
|
模擬式通訊 | ||
?0 to 5VDC, 0 to 10VDC 4 to 20mA | ||
SEC-N107系列 | EtherCAT® 通訊方式 | 符合EtherCAT®標(biāo)準(zhǔn) 24VDC ± 4V |
高精度：±1.0% S.P. (*1)
1秒內(nèi)快速響應(yīng) (*1)
多氣體，多量程解決方案
(*1)包括SEC-N17XR
多氣體，多量程的功能可使用軟件方便的更改MFC的氣體或滿量程流量。
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