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Horiba質(zhì)量流量計 D500

· 壓力不敏感性能

高性能壓力補償新功能簡化了供氣系統(tǒng)

· 多量程、多氣體、多壓力解決方案

新功能允許用戶改變氣體類型、滿量程流量和供壓范圍

· G-LIFE（集成限流器方程的氣體定律校驗）自診斷功能

先進(jìn)的工藝健康監(jiān)控功能允許操作人員自行進(jìn)行測試，即使提高通過量，通常也能在三秒或更短的時間內(nèi)完成測試。

· 高精度

先進(jìn)的三維調(diào)整功能提高了工藝氣的流量精度

· 快速響應(yīng)

響應(yīng)時間：< 0.8 秒

可實現(xiàn)精確、穩(wěn)定的流量控制

· 動態(tài)范圍

控制范圍廣：0.2% 滿量程 至 100% 滿量程

Horiba質(zhì)量流量計 D500

質(zhì)量流量控制器： 質(zhì)量流量控制器是一種可直接測量氣體的質(zhì) 量流量并進(jìn)行流量控制的設(shè)備。

不因環(huán)境溫 度和使用壓力等條件的變化而改變，可實現(xiàn) 高精度且穩(wěn)定的流量控制，應(yīng)用于各種工業(yè) 領(lǐng)域。

HORIBA 集團向遍布全球各地的用戶大量提供具有先進(jìn)水平的分析儀器系統(tǒng)及系列產(chǎn)品。

應(yīng)用范圍從汽車 發(fā)動機尾氣排放檢測的研發(fā)到過程及環(huán)境監(jiān)測，體外醫(yī)療檢測，半導(dǎo)體制造和計量，涉及范圍從科技研發(fā)到質(zhì) 量控制測量。

實踐證明，質(zhì)量和值得信賴的性能贏得廣大用戶對 HORIBA 集團品牌的信任。 半導(dǎo)體事業(yè)部以尖銳的目光關(guān)注著半導(dǎo)體、FPD、LED、太陽能、光纖等細(xì)微世界的發(fā)展。

由研發(fā)專家展開研究與開發(fā)以支持半導(dǎo)體制程工藝中對不同流體控制技術(shù)的需求。

為滿足不同市場、不同 工藝需求，半導(dǎo)體事業(yè)部亦能提供切合客戶需求的不同產(chǎn)品以實現(xiàn)匹配工藝需求。