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            上海進(jìn)佳科學(xué)儀器有限公司
                                                                        
            
										  中級(jí)會(huì)員 | 第3年									
            
                                    								
            

							
            
						
            
                        

					
            
										
            
						
            
                            							
            
								
            
								
            
									
            18930835460
            
								
            
							
            
                            						
            
					
            
										
				
            
			
            
			
            
				
            
					
				
            
			
            
		
            

		
		 
				
            
			
            
				
            
					
            
						
            當(dāng)前位置：> 供求商機(jī)> horiba高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)Z522/Z532/Z542
            
					
            
				
            
			
            
		
            

	
            
		
            
			
            horiba高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)Z522/Z532/Z542
            
		
            
		
            
			
		
            
	
            
	
            
		
            
			
            
				
            
					
              
						
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							horiba高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)Z522/Z532/Z542
						
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            貨物所在地：上海上海市
            
                                        					
            所在地：         日本
            
                    					
            更新時(shí)間：2024-10-18 09:10:38
            
					
            瀏覽次數(shù)：120
            
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            ( 聯(lián)系我們，請(qǐng)說明是在 化工儀器網(wǎng) 上看到的信息，謝謝！）
            
						                
            
				
            
			
            
		
            
	
            
	
            
		
            
				
			
            
				
            
					
					
            
							horiba高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)Z522/Z532/Z542

            小量程0-20sccm，大量程0-200SLM
            高精度：±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.)
            模擬信號(hào)輸出：0-5VDC，可選數(shù)字通訊RS485 F-Net協(xié)議

					
            
					
            horiba高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)SEC-Z522/Z532/Z542
            量程0-20SLM、0-200SLM，RS485通訊/0-5VDC
            銷售型號(hào): SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM、SEC-Z512、SEC-Z522。
            可選低成本數(shù)字型：SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM。
            可選低成本模擬型：SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3。
            國內(nèi)組裝模擬型：Horiba S48 28、horiba S48 32、S300
            國內(nèi)組裝數(shù)字型：S600 BR212、S600 BR222、S600 BM212、S600 BM222、S600 BR226、S600 BM226、S600 CR212、S600 CR222、S600 CR226、S500BR212、S500BM212  
                
            horiba高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)Z522 又稱氣體質(zhì)量流量控制器，簡稱MFC。
            主要功能是：控制器管路中的流量達(dá)到期望的設(shè)定值，同時(shí)反饋實(shí)際的流量信號(hào)到上位機(jī)。
            大流量Horiba氣體質(zhì)量流量計(jì)SEC-Z512是一款高穩(wěn)定性、高精度的MFC，用于進(jìn)口設(shè)備的PEVCVD、MOCVD中，國內(nèi)多回收、二次銷售，
            我公司提供進(jìn)口
            SEC-Z512MGX、SEC-Z522MGX、SEC-Z532MGX、SEC-Z542MGX等，
            保證全新進(jìn)口，終身維修。


            產(chǎn)品特點(diǎn)
            1) 多種氣體及多種流量范圍, 可以自由地更改氣體類型及更改滿量程流量, 現(xiàn)場設(shè)定;
            2) 超高精度：±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.);
            3) 快速響應(yīng)：< 1秒 (全量程范圍內(nèi)，任意設(shè)置點(diǎn));
            4) 非常方便的現(xiàn)場設(shè)置操作;
            5) 多種氣體及多種流量范圍能力集成于一顆質(zhì)量流量控制器，可以            zui大限度地減少庫存;
            6) 與現(xiàn)有模擬式質(zhì)量流量控制器兼容;
            7)             可選其他數(shù)字通訊：DeviceNet、EtherCAT、CC-Link、模擬信號(hào)。

            horiba高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)Z522/Z532/Z542   horiba高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)Z522/Z532/Z542   horiba高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)Z522/Z532/Z542
            產(chǎn)品參數(shù)
            規(guī)格-數(shù)字-模擬轉(zhuǎn)換模式 
            型號(hào)*1
            SEC-Z512、Z514
            SEC-Z512MGX
            SEC-Z522MGXN
            SEC-Z522MGX
            SEC-Z514MGX
            SEC-Z524MGXN 
            SEC-Z524MGX
            全標(biāo)準(zhǔn)流量
            (N2 轉(zhuǎn)換流量)
            1/2SCCM

            10SCCM            -10SLPM
            10-50SLM
            閥門類型
            O: 通常打開 C: 通常關(guān)閉
            關(guān)閉控制閥時(shí)的流量
            ≤ 2% F.S.
            流量測量范圍
            0-100% of F.S.
            精確性*2
            ±1.0%F.S.
            ±1.0%S.P.(流量>25%F.S.)
            ±0.25%F.S.(流量≤25%F.S.)
            工作溫度
            5 -50°C (建議溫度范圍: 15 -45°C)
            響應(yīng)
            ≤ 1 秒:超過全流量范圍
            直線性
            ≤ ±0.5% F.S.
            反復(fù)性
            ≤ ±0.2% F.S.
            工作壓差值
            ≤ 300 kPa (d)
            zui大工作壓力
            450 kPa (g)
            耐壓
            1000 kPa (g)
            外部泄漏率
            ≤ 5 x 10-12 Pa·m3/s (He)
            流量設(shè)定信號(hào)
            0.1 - 5 V DC (2% - F.S.); 輸入阻抗 1 MΩ 或更高
            流量輸出信號(hào)
            0 -5 V DC (0% - F.S.); zui小負(fù)荷阻力 2 kΩ 或更高
            數(shù)字界面
            地址功能: RS-485 (轉(zhuǎn)換速度 38,400 bps)
            F-Net 協(xié)議,DevceNet
            接液部材質(zhì)
            316L 不銹鋼(表面拋光)
            電源
            +15V±5% 150mA
            -15V±5% 150mA
            信號(hào)反應(yīng)
            模擬: D-Sub 9-pin (TOP)
            數(shù)字: 2 LAN jacks (TOP)
            標(biāo)準(zhǔn)接頭*3
            1/4 inch VCR
            1/4 inch VCR
            1.5 inch IGS
            選擇: 1.125 inch IGS, 1.5 inch IGS
            可選1.125 inch IGS
            安裝方向
            自由
             
            *1SEC(SEF)-Z512MGX, Z522MGX, 和 Z522MGXN氣體類型以及全范圍設(shè)定由操作者運(yùn)用特殊軟件改變。
            *2流量精度保證溫度符合 SEMI E56-1296 標(biāo)準(zhǔn)。精度是聯(lián)合全范圍MR以及MG數(shù)字值。
            *3IGS: 完整氣體系統(tǒng)
            *SCCM 和 SLM 是表示氣體流量的記號(hào)。 (mL/min, L/min, at 0°C和101.3 kPa)
            訂購注意：
             請(qǐng)?zhí)峁┊a(chǎn)品的介質(zhì)名稱、氣體量程、接口尺寸。
            如是設(shè)備備件的更換，請(qǐng)?zhí)峁┰a(chǎn)品的背面圖片和側(cè)面圖片、頂部圖片。




            
                                                                				
            
			
            
		
            
	
            
		



  
    
    				
			

		
    
    
    
    
    
    
    
    
    
    

    

     
     
     
	 




	 
	
	
	

            
	
            
		
            
			
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            請(qǐng)輸驗(yàn)證碼
            
                    
            
				
            
				
            
		
            
	
            

            


            
	
            
		
            
			
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            常用：
            
                    
            
                
            
            
            
		
            
	
            

            
	

            
	
            
		
            
			
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