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            技術(shù)文章

            德國寶德氣體質(zhì)量流量控制器918274

            閱讀:1243          發(fā)布時(shí)間:2020-10-28

            8711 型質(zhì)量流量控制器 (MFC) 適合在大流量范圍內(nèi)對(duì)氣體進(jìn)行質(zhì)量流量控制。直接位于氣流中的熱 MEMS 傳感器可以實(shí)現(xiàn)*速度的響應(yīng)。一個(gè)直動(dòng)式 Bürkert 比例閥作為執(zhí)行元件,確保了良好的響應(yīng)靈敏度。集成 PI 控制器,令 MFC 具備桌越的控制特性。8711 型設(shè)備可以針對(duì)兩種不同的氣體進(jìn)行校準(zhǔn),用戶可以在兩者之間進(jìn)行切換。作為電氣接口,既提供模擬標(biāo)準(zhǔn)信號(hào),也提供現(xiàn)場總線。8711 型質(zhì)量流量控制器適合多樣化應(yīng)用,例如燃燒器控制、熱處理、材料涂層、生物反應(yīng)堆、燃料電池技術(shù)或者試驗(yàn)臺(tái)。

            標(biāo)稱流量范圍:0.010 lN/min 至 80 lN/min
            測量精度和重復(fù)性高
            調(diào)控速度特別快
            選配:現(xiàn)場總線接口
            技術(shù)數(shù)據(jù)

            標(biāo)稱流量范圍1)

            (Q標(biāo)稱)

            1000萬升/分鐘2)至80升

            N/min(氮?dú)猓?/p>

            見表2

            調(diào)低比為1:50,可根據(jù)要求提高調(diào)低比

            工作氣體中性,無污染氣體,

            應(yīng)要求

            校準(zhǔn)氣體工作氣體或具有轉(zhuǎn)換系數(shù)的空氣

             大工作壓力

            (入口壓力)

            10巴(145磅/平方英寸)

            取決于閥門的孔

            氣體溫度-10…+70°C(-10…+60°C,含氧)

            環(huán)境溫度-10…+50°C

            準(zhǔn)確度±0.8%o.R.±0.3%F.S。

            (預(yù)熱1分鐘后)

            重復(fù)性±0.1%F.S。

            穩(wěn)定時(shí)間(t95%)<300毫秒

            材料

            身體

            住房

            海豹

            鋁或不銹鋼

            PC(聚碳酸酯)或金屬

            FKM、EPDM

            端口連接NPT?,G?,螺紋接頭或法蘭,

            其他應(yīng)要求

            調(diào)節(jié)裝置

            (比例閥)

            閥孔板

            k

            VS值

            常閉式

            0.05…4.0毫米

            0.00006…0.32立方米/小時(shí)

            電氣。連接

            另外,現(xiàn)場總線:

            插頭D-Sub 15針

            帶PROFIBUS-DP:插座M12 5針

            帶CANopen:插座M12 5針

            24 V直流電源

            電壓公差±10%

            殘余波紋<2%

             大功耗3.5…14 W

            (取決于使用的比例閥)

            輸入信號(hào)

            輸入阻抗

            0…5伏,0…10伏,0…20毫安或4…20毫安

            >20 kΩ(電壓),

            <300Ω(電流)

            輸出信號(hào)

             大電流(電壓)

             大負(fù)載(電流)

            0…5伏,0…10伏,0…20毫安或4…20毫安

            10毫安

            600Ω

            數(shù)字通信

            可能通過適配器:

            RS232,Modbus RTU(通過RS適配器)

            RS485、RS422或USB

            (見第3頁附件表)

            現(xiàn)場總線選項(xiàng)PROFIBUS-DP,CANopen

            防護(hù)等級(jí)IP40

            尺寸[mm]見圖紙5-7

            總重量約500 g(鋁體)

            水平或垂直安裝

            發(fā)光二極管

            (默認(rèn)功能,

            其他可編程功能)

            電源指示,

            限制(模擬信號(hào))/通信

            (帶現(xiàn)場總線)和錯(cuò)誤

            二進(jìn)制輸入

            (默認(rèn)功能,

            其他可編程功能)

            1啟動(dòng)自動(dòng)調(diào)諧

            2未的

            二進(jìn)制輸出

            (默認(rèn)功能,

            其他可編程功能)

            繼電器輸出:

            1限制(未達(dá)到設(shè)定值)

             大負(fù)載:25V,1A,25VA

            1) 標(biāo)稱流量值是可控制的 大標(biāo)定流量值。這個(gè)

            額定流量范圍(可能的)定義了額定流量范圍。

            2) 指數(shù)N:指1.013 bar和0°C的流量。

            另外,還有一個(gè)指數(shù)S,指的是1.013巴和20°C

            T

            8711型質(zhì)量流量控制器(MFC)是

            適用于調(diào)節(jié)氣體的質(zhì)量流量

            在大流量范圍內(nèi)。熱MEMS

            傳感器直接位于氣流中

            因此達(dá)到非??斓捻憫?yīng)時(shí)間。A

            Bürkert直動(dòng)比例閥

            保證高靈敏度。集成PI

            控制器確保了MFC的桌越控制特性。

            8711型可選擇校準(zhǔn)兩個(gè)

            不同的氣體;用戶可以在

            這兩種氣體。作為兩者的電氣接口,

            模擬標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)和現(xiàn)場總線

            可用。

            8711型質(zhì)量流量控制器適用于各種應(yīng)用,如燃燒器控制、加熱

            處理、材料涂層、生物反應(yīng)器、燃料

            細(xì)胞技術(shù)或試驗(yàn)臺(tái)。

            實(shí)際流量由傳感器檢測。這是根據(jù)

            一種具有提供質(zhì)量流優(yōu)勢的熱學(xué)原理

            與壓力和溫度無關(guān)。

            總氣體流的一小部分被轉(zhuǎn)移到

            設(shè)計(jì)的旁路通道能保證層流條件。

            傳感器元件是一個(gè)芯片,浸沒在該流道壁中。

            該芯片采用MEMS技術(shù)生產(chǎn),包含一個(gè)加熱電阻和

            對(duì)稱布置的兩個(gè)溫度傳感器(熱電堆)

            加熱器的上游和下游。的差動(dòng)電壓

            熱電堆是通過流量傳感器的質(zhì)量流量的測量。

            校準(zhǔn)程序?qū)崿F(xiàn)了傳感器的為一分配

            通過裝置的總流量信號(hào)。

            為了正確選擇MFC內(nèi)的致動(dòng)器孔,不僅

            所需 大流量Qnom,也可直接取壓力值

            在此流速下的MFC(p1,p2)前后Qnom應(yīng)已知。

            總的來說,這些壓力與總進(jìn)口和

            整個(gè)工廠的出口壓力,因?yàn)橥ǔS蓄~外的

            流量電阻器(管道、附加切斷閥、噴嘴等)同時(shí)存在

            控制器前后。

            請(qǐng)使用第8頁的報(bào)價(jià)邀請(qǐng)函來說明

            MFC前后的壓力。如果這些是未知的

            或無法進(jìn)行測量,則應(yīng)通過

            考慮到流量為Qnom時(shí),MFC前后流量電阻器上的近似壓降。

            此外,請(qǐng)注明可能遇到的 大入口壓力p1 max。需要這些數(shù)據(jù)以確保致動(dòng)器能夠提供

            在所有操作模式下關(guān)閉緊密功能。

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