三坐標(biāo)校準(zhǔn)雙頻激光干涉儀

儀器的校準(zhǔn)是產(chǎn)品控制的重要一環(huán)。隨著三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的不斷發(fā)展，傳統(tǒng)的校準(zhǔn)方法已經(jīng)無(wú)法滿足一些大型三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的校準(zhǔn)工作。JJF1064-2010《坐標(biāo)測(cè)量機(jī)校準(zhǔn)規(guī)范》是我國(guó)各計(jì)量技術(shù)機(jī)構(gòu)及校準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室對(duì)三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)進(jìn)行校準(zhǔn)的技術(shù)依據(jù)。其中規(guī)定，在實(shí)物標(biāo)準(zhǔn)器無(wú)法滿足測(cè)量要求時(shí)，可使用激光干涉儀進(jìn)行位置示值誤差測(cè)量，并且測(cè)量可以只在使用尺寸實(shí)物標(biāo)準(zhǔn)器不能滿足要求的軸向進(jìn)行。關(guān)于尺寸實(shí)物標(biāo)準(zhǔn)器的要求中有“在尺寸實(shí)物標(biāo)準(zhǔn)器的大長(zhǎng)度無(wú)法達(dá)到空間對(duì)角線的66%時(shí)，可以增加測(cè)量位置或使用激光干涉儀進(jìn)行位置示值誤差測(cè)量”的規(guī)定。

該雙頻激光干涉儀的示值誤差直接影響對(duì)三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)示值誤差的校準(zhǔn)結(jié)果，因此要嘗試各種不同的校準(zhǔn)試驗(yàn)方法，盡量避免或減少由激光干涉儀的激光發(fā)生器、環(huán)境補(bǔ)償系統(tǒng)、夾持器組、線性長(zhǎng)度測(cè)量鏡組、重負(fù)荷三腳架等引入的測(cè)量誤差。

三坐標(biāo)校準(zhǔn)雙頻激光干涉儀的測(cè)量過(guò)程

首先需要對(duì)實(shí)驗(yàn)對(duì)象三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的測(cè)量數(shù)據(jù)進(jìn)行標(biāo)定，以減少系統(tǒng)誤差，降低其對(duì)三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)準(zhǔn)確度的影響，保證三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的穩(wěn)定運(yùn)行和測(cè)量數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確可靠，使該三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)滿足試驗(yàn)對(duì)象的要求。

標(biāo)定過(guò)程中，需確定儀器或系統(tǒng)的輸入與輸出之間關(guān)系：給予儀器以及測(cè)量系統(tǒng)分度值，獲得儀器以及測(cè)量系統(tǒng)的靜態(tài)特性，以此減小系統(tǒng)誤差，提高系統(tǒng)的測(cè)量準(zhǔn)確度。

技術(shù)參數(shù)：

穩(wěn)頻精度：0.05ppm

動(dòng)態(tài)采集頻率：50kHz

預(yù)熱時(shí)間：≤6分鐘

工作溫度范圍：0-40℃

存儲(chǔ)溫度范圍-20~70℃

環(huán)境濕度0-95%RH

環(huán)境補(bǔ)償單元：

空氣溫度傳感器：±0.1℃（0~40℃）分辨力0.01℃

材料溫度傳感器：±0.1℃（0~55℃）分辨力0.01℃

空氣濕度傳感器：±5%RH（0-95%RH）

大氣壓力傳感器：±0.1kPa（65~115kPa）

線性測(cè)量：

測(cè)量距離：0-80m(無(wú)需遠(yuǎn)距離線性附件）

測(cè)量精度0.5ppm (0-40℃）

測(cè)量分辨力：1mm

測(cè)量大速度：4m/s