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            CFD系列半導體氣動泵

            參  考  價面議
            具體成交價以合同協(xié)議為準

            產(chǎn)品型號

            品       牌IWAKI/日本易威奇

            廠商性質生產(chǎn)商

            所  在  地上海市

            更新時間:2024-04-25 09:53:30瀏覽次數(shù):200次

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            CFD系列半導體氣動泵
            全氟材質、高精度、分辨率高達1.0mL/shot、精細流量調節(jié)的化學液補充系統(tǒng)。

            CFD系列
            全氟材質、高精度、分辨率高達1.0mL/shot、
            精細流量調節(jié)的化學液補充系統(tǒng)

            高分辨率

            最小流量達1mL/shot,為晶圓清洗過程中所需的化學凝結控制,提供更高的準確性。CFD系列能提供準確流量,防止過量添加或液體浪費。此外,防虹吸設計防止意外吸入。


            耐腐蝕過流端

            氟材質口過流端(PTFE / PFA / PCTFE)是能夠處理半導體加工所用的強酸、強堿和雙氧水。針對化學腐蝕,PTFE / PFA / PP / PVC材質外部零件和PTFE涂層螺絲能提供額外的保護。


            廣的吐出率調節(jié)

            打開底蓋可輕松在1.0-2.7ml/shot之間調節(jié)沖程長度 (出廠默認設定是1.0ml/shot)。


            配備泄漏傳感器

            每臺泵都配有泄漏傳感器,可實時檢測任何泄漏情況。

             

            規(guī)格

            最大吐出量

            1 mL/shot

            最大吐出壓力

            0.05 MPa

            最大沖程率

            30 spm

            主要材質

            PTFE, PFA, PCTFE

            液體輸送溫度范圍

            20 ~ 60 °C


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