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當(dāng)前位置：> 供求商機(jī)> PDS-H115半導(dǎo)體氣動泵
大大節(jié)省光刻膠
使用高力矩步進(jìn)電機(jī)作為驅(qū)動裝置，確保吐出量的穩(wěn)定性。即使使用過濾器過濾堵塞物或液體粘度出現(xiàn)變化時，亦確保暢通無阻。吐出重復(fù)精度(高達(dá)0.3%)能保持不變。
無污染
采用管型膜片結(jié)構(gòu)，內(nèi)部過流部分是平整、光滑，殘留體積極小。因為整個系統(tǒng)幾乎沒有一個地方，可讓液體依附，有效避免顆粒產(chǎn)生。
適用于各種涂層工藝
因吐出速度可自由改變，該系統(tǒng)能夠處理各種光刻膠涂層工藝，包括極小吐出量或極短時間周期等不同的應(yīng)用。
減少生產(chǎn)線停機(jī)時間
吐出量和吐出時間可以輕松在控制器設(shè)定，大大減低操作時間、人手和生產(chǎn)線停機(jī)時間。
規(guī)格
型號 | PDS-H115 |
最大吐出量 | 12 mL/shot |
最大吐出壓力 | 1.0 MPa |
吐出速度 | 0.5 ~ 2.0 mL/sec |
吸入速度 | 0.3 ~ 2.0 mL/sec |
| 最高液體粘度范圍 | 10,000 mPa·S |
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