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電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀的特點(diǎn)：
1、射頻發(fā)生器的高壓供電回路，采用*電子技術(shù)，淘汰了笨重的升壓變壓器和高頻阻流圈，采用功率閉環(huán)反饋技術(shù)，控制精度小于0.1% 。
2、全自動(dòng)點(diǎn)火 氣路智能控制，實(shí)現(xiàn)軟件點(diǎn)火，更方便。

電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀的特點(diǎn)：

1、射頻發(fā)生器的高壓供電回路，采用*電子技術(shù)，淘汰了笨重的升壓變壓器和高頻阻流圈，采用功率閉環(huán)反饋技術(shù)，控制精度小于0.1% 。

2、全自動(dòng)點(diǎn)火 氣路智能控制，實(shí)現(xiàn)軟件點(diǎn)火，更方便。

3.安全冷卻水保護(hù)、氬氣保護(hù)、過壓、過流、滅弧保護(hù)更安全。                                 
4.輸出功率自動(dòng)匹配調(diào)諧，功率參數(shù)軟件程序設(shè)定。                
5.分光器內(nèi)充氬氣，使波長(zhǎng)在180nm的硫和189nm的Sn得到很靈敏的測(cè)量效果。

6.優(yōu)良的光學(xué)系統(tǒng)，*控制系統(tǒng)，保證峰位定位準(zhǔn)確，信背比優(yōu)良、極小的基體效應(yīng)。  
7.測(cè)量范圍寬， 超微量到常量的分析,動(dòng)態(tài)線性范圍5—6個(gè)數(shù)量級(jí)。
8.檢出限低，大多數(shù)元素的檢出限可達(dá)ppb級(jí)。 
9.良好的測(cè)量精度，穩(wěn)定性相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)偏差RSD≤1.5%（5ppm），優(yōu)于國(guó)家*標(biāo)準(zhǔn)（JJG768-2005）。

 

技術(shù)參數(shù)

射頻發(fā)生器（RF）

(1) 電路類型：自激振蕩電路，全自動(dòng)點(diǎn)火，精密高壓開關(guān)電源供電系統(tǒng)，所有功能實(shí)現(xiàn)電腦軟件控制(點(diǎn)火、熄火、功率等參數(shù)設(shè)置)；實(shí)時(shí)功率控制；自動(dòng)匹配調(diào)諧；光室恒溫；；

(2) 工作頻率：40.68MHZ±0.05% 

(3) 頻率穩(wěn)定性：<0.1% 

(4) 輸出功率：700－1600w 

(5) 輸出功率穩(wěn)定性：≤0.3% 

(6) 電磁場(chǎng)泄漏輻射強(qiáng)度：距機(jī)身300mm 電場(chǎng)強(qiáng)度E:<2V/m

進(jìn)樣裝置:

(1) 輸出工作線圈內(nèi)徑25mm，3匝 

(2) 炬管：外徑20mm的石英炬管 

(3) 同軸型噴霧器外徑6mm 

(4) 雙筒形霧室外徑35mm 

(5) 氬氣流量計(jì)規(guī)格和載氣壓力表規(guī)格： 

  ①、 等離子體流量計(jì)（100-1000）L/h ；(1.6-16L/min) 

  ②、 輔助氣流量計(jì)（6-60）L/h ；(0.1-1L/min) 

  ③、 載氣流量計(jì)（6-60）L/h ；(0.1-1L/min) 

  ④、 載氣穩(wěn)壓閥（0-0.4MPa）

        儀器內(nèi)設(shè)氬氣二次穩(wěn)壓閥（0.3MPa）

    測(cè)光裝置:

      (1) 光電倍增管規(guī)格： R212UH 

      (2) 光電倍增管負(fù)高壓：200-1000V ，穩(wěn)定性<0.05% 

      (3) 光電倍增管電流測(cè)量范圍：10-12 -10-4A 

      (4) 信號(hào)采集為V/F交換：1mV對(duì)應(yīng)100Hz

分光器:
(1) 光路: Czerny-Turner
(2) 焦距: 1000mm 
(3) 光柵規(guī)格：離子刻蝕全息光柵，刻線密度3600線/mm，

     刻線面積: 80×110mm，線色散率倒數(shù)：0.26nm 
(4) 波長(zhǎng)范圍：190-500nm  
(5) 分辨率: ≤0.008nm 
(6) 掃描波長(zhǎng)范圍3600線/mm 掃描波長(zhǎng)范圍：190-500nm
(7) 步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)小步距：0.0006nm 
(8) 入射狹縫：20µm   出射狹縫：25µm
(9) 發(fā)射鏡規(guī)格：（78 × 105 × 16）mm 
(10) 透鏡ф30，1：1成像

電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀整機(jī)技術(shù)指標(biāo)：

測(cè)量波長(zhǎng)范圍：

180-500nm    3600L/mm光柵

測(cè)量精度（重復(fù)性）：平均相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)偏差RSD≤1%

測(cè)量穩(wěn)定性：平均相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)偏差RSD≤2

檢出下限：亞PPb級(jí)