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SEM主動(dòng)隔振平臺(tái)SEM-Base VI
SEM-Base®VI是下一代STACIS主動(dòng)壓電消振產(chǎn)品。SEM-Base VI被設(shè)計(jì)用于支撐所有商用掃描電子顯微鏡（SEM）以及許多聚焦離子束（FIB）和小型雙光束儀器。SEM-Base VI具有更好的隔振性能、更快、更強(qiáng)大的控制器和高級(jí)圖形用戶界面（GUI）。SEM-Base VI使許多實(shí)驗(yàn)室和設(shè)施達(dá)到了滿足工具制造商規(guī)格所需的地面振動(dòng)水平。
SEM-Base VI采用*特的“串行結(jié)構(gòu)"，其中的振動(dòng)傳感器測(cè)量地面振動(dòng)，而不是有效載荷振動(dòng)。與其他設(shè)計(jì)不同，這確保了有效載荷共振不會(huì)限制隔振或造成不穩(wěn)定。振動(dòng)傳感器是低頻慣性速度傳感器，在難以測(cè)量的亞Hz范圍內(nèi)具有*大靈敏度。結(jié)合我們*特的壓電致動(dòng)器技術(shù)，SEM-Base VI即使在安靜的地面上也能實(shí)現(xiàn)*高的消振水平。
SEM-Base VI可提供與以前型號(hào)平均高6 dB的隔振。此外，TMC的下一代控制器DC-2020采用了新的雙核處理器，為工具所有者和研究人員提供了一個(gè)非常簡(jiǎn)單易用的圖形界面，可實(shí)現(xiàn)快速系統(tǒng)評(píng)估和安全操作。通過(guò)以太網(wǎng)連接時(shí)，DC-2020將在用戶的瀏覽器中創(chuàng)建SEM-Base GUI，無(wú)需安裝其他軟件或應(yīng)用程序。此外，用戶也可以通過(guò)板載菜單驅(qū)動(dòng)的液晶顯示器（LCD）與控制器連接。
注意：請(qǐng)參見(jiàn)SEM-Closure，這是一種專(zhuān)為保護(hù)SEM而設(shè)計(jì)的整體環(huán)境解決方案。它可以將SEM-Base和Mag-NetX® 固定在一個(gè)密封和溫控聲學(xué)室中 - 從而保護(hù)SEM免受振動(dòng)、磁場(chǎng)干擾和聲學(xué)噪聲的影響。
SEM主動(dòng)隔振平臺(tái)SEM-Base VI的優(yōu)勢(shì)
硬安裝技術(shù) - SEM-Base VI與所有內(nèi)部SEM振動(dòng)控制系統(tǒng)兼容，可以從0.6 Hz開(kāi)始主動(dòng)減輕低頻地面振動(dòng)。
主動(dòng)慣性振動(dòng)消除 - SEM-Base VI使用高靈敏度、低頻慣性速度傳感器，即使在安靜的地面上也能實(shí)現(xiàn)高水平的振動(dòng)衰減。
采用壓電技術(shù)的串行設(shè)計(jì) - *特的串行設(shè)計(jì)和專(zhuān)有的高力壓電技術(shù)可實(shí)現(xiàn)0.6 Hz至150 Hz的寬主動(dòng)帶寬和從2 Hz開(kāi)始減振90％的*越慣性主動(dòng)振動(dòng)消除性能。
*全集成式的單平臺(tái)設(shè)計(jì) - SEM-Base VI設(shè)計(jì)與制造的集成化，將安裝平臺(tái)的工作簡(jiǎn)化到了致，簡(jiǎn)單的定位與設(shè)置之后即可正常工作。
NOTE：可選SEM-Closure，專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)用于保護(hù)SEM的完整環(huán)境解決方案。在SEM- Closure密封隔音室內(nèi)可兼顧放置 SEM-Base VI與Mag-Net X，保護(hù)SEM免除振動(dòng)、磁場(chǎng)擾動(dòng)與聲波噪音的影響。
產(chǎn)品特點(diǎn)
●STACIS*利技術(shù)
●主動(dòng)慣性振動(dòng)清除系統(tǒng)
●895×1124×160 mm (35.25×44.25×6.3 in.)適合絕大多數(shù)商業(yè)SEM
●負(fù)載能力：408-1134kg (900-2500 lb.)
●隔振效率1Hz:40-70%
●隔振效率經(jīng)2Hi:90%
●隔振效率＞3Hz:90-98%
●6個(gè)主動(dòng)自由度
●安裝容易，調(diào)試簡(jiǎn)單
●兼容所有設(shè)備內(nèi)直的振動(dòng)隔離系統(tǒng)
●電源：100-240VAC, 50/60Hz, <600W
●是否需要空氣：非氣浮系統(tǒng)
●CE與RoHS認(rèn)證
●*全集成式的單平臺(tái)設(shè)計(jì)
●可安裝腳輪，輕松便攜移動(dòng)，無(wú)需搬運(yùn)
●兼容SEM-lift系統(tǒng)
性能規(guī)格
主動(dòng)自由度 | 6 |
主動(dòng)帶寬 | 0.6 Hz - 100 Hz |
被動(dòng)固有頻率 | 標(biāo)稱(chēng)值為12 Hz |
有效的主動(dòng)共振頻率 | 0.5 Hz |
1 Hz時(shí)的隔振 | 40% - 70% |
2 Hz時(shí)的隔振 | 90% |
≥3 Hz時(shí)的隔振 | 90 - 98% |
內(nèi)部噪音 | <0.1 nm RMSd> |
工作負(fù)載范圍 | 標(biāo)準(zhǔn)承重能力：900 - 2,500磅（408 - 1134千克） |
磁場(chǎng)發(fā)射4英寸（102毫米）處距離平臺(tái) | <0.02 μG broadband RMSd> |
設(shè)計(jì)、尺寸、環(huán)境和效用要求
環(huán)境和安全 | 符合CE和RoHS標(biāo)準(zhǔn) |
主動(dòng)隔振元件 | *小承重能力為3300磅（1500千克）的壓電致動(dòng)器接收來(lái)自高壓放大器的信號(hào)，其輸出高達(dá)800 VDC。垂直執(zhí)行器支撐隔振的有效載荷 |
被動(dòng)隔振元件 | 單個(gè)硬彈性體（無(wú)需壓縮空氣源） |
振動(dòng)傳感器元件 | 向下的地震檢波器型慣性傳感器，用于 |
主動(dòng)反饋控制回路 | 在支撐隔振表面的彈簧 |
尺寸（寬 x 深） | 35.25 x 44.25英寸 |
高度 | 標(biāo)稱(chēng)6.3英寸（160毫米）， |
工作溫度 | 50° - 90° F |
儲(chǔ)存溫度 | -40° - 130° F |
濕度 | 30 - 60% |
系統(tǒng)電源要求 | 100、120、230、240 VAC |
地面位移 | <800 μin. (20 μm) below 10 Hzd> |
內(nèi)置控制器規(guī)格
處理器 | 150/75 MHz雙核 |
采樣率 | 10 kHz |
模擬輸出 | 16個(gè)通道 |
模擬輸入 | 16個(gè)通道 |
狀態(tài)燈 | 單個(gè)LED |
前面板端口 | 1個(gè)串行USB 2.0 |
用戶界面 | 前面板液晶顯示屏 |
性能
使用VC-C（500 μ英寸/秒，12.5 μ米/秒 RMS）的模擬振動(dòng)來(lái)測(cè)試1800磅（818千克）有效載荷
應(yīng)用說(shuō)明
應(yīng)用說(shuō)明
SEM成像
SEM-Base®在使用日立S-4800之前和之后的圖像
SEM成像
蔡司Auriga FIB-SEM在使用帶Mag-NetX®的SEM-Base®之前和之后的圖像
案例分析
主動(dòng)壓電消振功能允許在惡劣的城市環(huán)境中使用先進(jìn)的電子束和離子束儀器
提高金剛石車(chē)削質(zhì)量
*大限度地減少表面粗糙度以消除金剛石車(chē)削智能設(shè)備相機(jī)鏡頭模具上的衍射顏色
