目錄:上海昊量光電設備有限公司>>專用實驗設備>>陰極發(fā)光>> 陰極發(fā)光儀/顯微鏡
| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 應用領域 | 生物產(chǎn)業(yè),電子/電池 |
|---|---|---|---|
| 極限空間分辨率 | <1um |
陰極發(fā)光儀/陰極發(fā)光顯微鏡
昊量光電新推出用于微電子、半導體、絕緣材料、地質(zhì)學和礦物學材料測量的法國NewTec陰極射線顯微鏡。陰極發(fā)光是一種光譜方法，它可以在局部尺度上識別缺陷和雜質(zhì)，這些缺陷和雜質(zhì)與被電子槍轟擊的材料的發(fā)光特性有關。陰極發(fā)光儀/陰極發(fā)光顯微鏡
陰極射線顯微鏡組成：
配有相機的光學顯微鏡(低亮度)
裝有電動樣品支架的真空室
雙層真空泵及附件
帶電纜電子槍
電源控制器及控制軟件
陰極射線顯微鏡特點：
等離子體穩(wěn)定控制
自動擊發(fā)
半定量測量
分光計定量測量
極限空間分辨率<1um
可選項：加熱and/or冷卻
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