空氣軸承系統(tǒng)——ALIO納米級(jí)高精度運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)

空氣軸承系統(tǒng)產(chǎn)品描述：

ALIO Industries推出了6-D Nano Positioning®空氣軸承運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)，6-D指運(yùn)動(dòng)的6個(gè)維度；線性，直線度，平面度，俯仰，偏航和滾動(dòng)。Nano Precision 指的是在 +/- 450 nm 水平或以下的性能證明文件。6-D Nano Precision® 是指在納米級(jí)精度下運(yùn)動(dòng)的身體的所有 6 個(gè)自由度的性能證明文件?？諝廨S承系統(tǒng)適用于制造、檢測/維修和計(jì)量等各種應(yīng)用領(lǐng)域。ALIO Industries空氣軸承運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)，是一種用氣浮導(dǎo)軌或空氣軸承做支撐的精密運(yùn)動(dòng)裝置，適用于下一代TRUE NANO®精密應(yīng)用?？諝廨S承系統(tǒng)提供出色的定位性能，適用于高精度要求的應(yīng)用。空氣軸承系統(tǒng)適用于多個(gè)行業(yè)，包括光伏、半導(dǎo)體、噴墨沉積、光刻和光學(xué)檢測等領(lǐng)域。

空氣軸承系統(tǒng)——ALIO納米級(jí)高精度運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)產(chǎn)品特點(diǎn)：

• 零摩擦和無振動(dòng)的平滑移動(dòng)

• 速度穩(wěn)定超高精度的移動(dòng)
  

• 運(yùn)動(dòng)不產(chǎn)生顆粒，適用于無塵環(huán)境

• 軸承損耗低，表面不易損壞
  

定制二維平面 XY 空氣軸承系統(tǒng)

由于兩個(gè)軸都使用相同的高精度花崗巖底座作為參考，因此可以在數(shù)百毫米（甚至米）的行程范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)僅一微米的平面度。

這種高剛性平面 xy 空氣軸承運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)系列提供亞微米精度和 +/- 100 納米雙向可重復(fù)性，即使在批量機(jī)器的批量生產(chǎn)中也是如此生產(chǎn)。憑借 200 毫米至 800 毫米的標(biāo)準(zhǔn)版本，以及可定制超過 3 米的 X 和 Y 行程，該產(chǎn)品系列在任何類型的測量/計(jì)量應(yīng)用和半導(dǎo)體行業(yè)中都具有True Nano®精度。

強(qiáng)大的線性直接驅(qū)動(dòng)器和空氣軸承使這些運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)非常適合高精度、高吞吐量的應(yīng)用，這些應(yīng)用需要平滑的連續(xù)掃描或非常長距離的快速步進(jìn)和穩(wěn)定過程。

定制空氣軸承平衡式Z軸位移臺(tái)（垂直位移臺(tái)）

ALIO 的直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)、帶空氣軸承平衡的垂直 Z 升降平臺(tái)系列的特點(diǎn)是外形低矮且行程極長。使用高精度交叉滾子軸承和線性編碼器，平臺(tái)配備無摩擦空氣軸承氣缸。與 GeoSymmetric 系列平臺(tái)類似，這些長行程 Z 平臺(tái)具有配重、電機(jī)、軸承和編碼器，所有這些都放置在平臺(tái)的大致中心線上。有效負(fù)載可以直接安裝到舞臺(tái)的表面。

Z-ABCB 系列——配備無摩擦空氣軸承氣缸平衡裝置——可在 200 毫米或以上承載高達(dá) 25 公斤的有效載荷。

定制空氣軸承旋轉(zhuǎn)臺(tái)

當(dāng)需要很高的旋轉(zhuǎn)精度時(shí)，制造商可以從 ALIO 的空氣軸承旋轉(zhuǎn)平臺(tái)系列中進(jìn)行選擇?？諝廨S承允許載物臺(tái)在沒有機(jī)械接觸的情況下移動(dòng)，因此移動(dòng)無摩擦且無磨損。即使在高速或旋轉(zhuǎn)平臺(tái)垂直安裝時(shí)，擺動(dòng)、偏心或跳動(dòng)等誤差也盡可能消除，以接近平滑的 360 度運(yùn)動(dòng)。

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