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            目錄:束蘊儀器(上海)有限公司>>MDP>>MDPlinescan少子壽命測試儀>> MDPlinescan-1MDPlinescan在線少子壽命測試儀

            MDPlinescan在線少子壽命測試儀
            • MDPlinescan在線少子壽命測試儀
            • MDPlinescan在線少子壽命測試儀
            • MDPlinescan在線少子壽命測試儀
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            參考價 1000000
            訂貨量 ≥1
            具體成交價以合同協(xié)議為準
            1000000
            ≥1
            具體成交價以合同協(xié)議為準
            • 品牌 Freiberg Instruments
            • 型號 MDPlinescan-1
            • 廠商性質(zhì) 代理商
            • 所在地 上海市
            屬性

            >

            更新時間:2025-02-11 14:21:49瀏覽次數(shù):1932評價

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            MDPlinescan在線少子壽命測試儀靈活的OEM少子壽命測試儀器,用于各種不同樣品的少子壽命測量,從單晶硅磚到多晶硅磚,從生長的硅片到不同層或金屬化的硅片的過程控制。標準的軟件接口,便于連接到許多處理或自動化系統(tǒng)。

            MDPlinescan在線少子壽命測試儀在眾多的少子壽命測量方法中,MDP(微波檢測光電導(dǎo)率)采用改進的少子壽命檢測技術(shù),是微波檢測光電導(dǎo)衰減法檢測儀中常用的儀器之一,少子壽命測試儀原理從載流子輸運原理出發(fā),建立廣義速率方程和偏微分方程系統(tǒng)。擁有*的靈敏度和分辨率,很大程度提升在線檢測的速度和質(zhì)量,快速出具少子壽命測試的實驗報告。
                   

                    

            MDPlinescan被設(shè)計成一個易于集成的OEM設(shè)備,可以集成到各種自動化檢測線。關(guān)鍵的是在傳送過程中進行少子壽命掃描。樣品通常由測量頭下面的傳送帶或機器人系統(tǒng)攜帶。應(yīng)用實例包括從晶磚到晶圓檢測,單晶少子壽命測試、多晶少子壽命測試,每塊晶圓的測量速度小于一秒。電池生產(chǎn)線上的來料質(zhì)量檢查是經(jīng)典的通用案例,也用于鈍化和擴散后的工藝質(zhì)量檢查,還有許多其他特殊的應(yīng)用的可能性。易于集成,只需要以太網(wǎng)連接和電源。
             

            MDPlinescan W       

            包括一個額外的電阻率測量選項。        

                   


                   

            MDPlinescan在線少子壽命測試儀優(yōu)點:         

            ◇  在µ-PCD或穩(wěn)態(tài)激勵條件下線掃描少數(shù)載流子壽命和電阻率是這個小型設(shè)備的重要功能;        

            ◇  OEM設(shè)備可以集成到多晶或單晶硅片的生產(chǎn)線上,在不同的制備階段,直至器件、磚塊或晶錠。        

            ◇  小巧的尺寸和標準的自動化接口使其易于集成。重點是測量結(jié)果的長期可靠性和精確性。        


                   

                    示范性線狀掃描圖        

                  

            細節(jié):                  

            ◇  允許單晶圓片調(diào)查                 

            ◇  不同的晶圓級有不同的配方        

            ◇  監(jiān)控物料、工藝質(zhì)量和穩(wěn)定性     


            技術(shù)規(guī)格:    


            樣品

            多種尺寸的多晶或單晶晶片,如156mm×156mm、晶磚、電池片等

            樣品尺寸

            50 x 50 mm2以上

            電阻率

            0.2 - 103Ω·cm

            電導(dǎo)類型

            P,N

            樣品類型

            硅片、部分或全部加工的硅片、化合物半導(dǎo)體及更多的產(chǎn)品

            可測量的特性

            少數(shù)載流子壽命

            硬件接口

            以太網(wǎng)

            尺寸規(guī)格

            體積:174 x 107   x 205mm;重量:3公斤

            電源

            24 V DC, 2 A


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