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廈門超新芯科技有限公司所研發(fā)生產(chǎn)的透射電鏡原位高溫力學(xué)系統(tǒng)是通過在原位樣品桿內(nèi)置力學(xué)測量模塊、三維納米運(yùn)動模塊、原位加熱芯片，可對材料進(jìn)行應(yīng)力及熱場條件下原子分辨高時空分析。通過該系統(tǒng)，在透射電鏡中通過納米探針或者原位芯片對樣品進(jìn)行操縱和拉應(yīng)力、壓應(yīng)力測量。并且在測量樣品壓力同時實(shí)現(xiàn)對樣品1000℃的加熱，在高溫力學(xué)測量的同時，能夠動態(tài)、高分辨地對樣品的晶體結(jié)構(gòu)、組分進(jìn)行綜合表征。

具備的功能包括：原位壓縮微納試樣進(jìn)行應(yīng)力應(yīng)變曲線監(jiān)測；原位拉伸微納試樣進(jìn)行應(yīng)力應(yīng)變曲線監(jiān)測；具有超高精度和靈敏度的力學(xué)參數(shù)和應(yīng)變量測試能力，能準(zhǔn)確得到定量的載荷和位移的數(shù)據(jù)，且具有*的穩(wěn)定性。特色功能：恒定載荷控制功能，以適用于材料的蠕變特性研究；恒定位移控制功能，以適用于材料的應(yīng)力松弛的研究。

圖原位TEM力學(xué)樣品桿示意圖

技術(shù)指標(biāo)：

1）桿體材質(zhì)：高強(qiáng)度鈦合金；

2）控制方式：高精度壓電控制；

3）最大載荷：150 mN；

4）力學(xué)測量分辨率：＜10 nN；

5）粗調(diào)X/Y/Z范圍：±2 mm；

6）粗調(diào)精度：1.25 μm；

 7）細(xì)調(diào)范圍X/Y/Z：X：8 μm，Y、Z：±5 μm；

 8）細(xì)調(diào)位移分辨率：0.2 nm；

 9）(HR)TEM/STEM支持；

 10）(HR)EDS/EELS支持；

 11）溫度測量范圍：室溫—1000℃；

 12）控溫精度：±0.1 ℃；

 13）漂移率：1.5 nm/min（恒溫狀態(tài)下）

應(yīng)用案例

納米碳球壓縮原位力學(xué)實(shí)驗(yàn)

鎢納米棒原位壓縮過程