目錄:深圳市科晶智達(dá)科技有限公司>>管式爐>>多溫區(qū)管式爐>> GSL-1700X-III-F3LV1700℃三溫區(qū)管式爐
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更新時(shí)間：2025-02-17 11:40:36瀏覽次數(shù)：1188評(píng)價(jià)
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| 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電氣 |
|---|
GSL-1700X-III-F3LV 1700℃三溫區(qū)管式爐是一款通過(guò)CE認(rèn)證的三溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng)，其爐管直徑為60mm,其真空泵采用雙旋機(jī)械泵，混氣系統(tǒng)為3路浮子混氣系統(tǒng)。此高溫爐燒結(jié)溫度可達(dá)1700℃，真空度可達(dá)到5x10-2 torr ，可以混合1-3種氣體。
| 性能指標(biāo)和基本配置 | |
|---|---|
| 爐體結(jié)構(gòu) | ● 采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)，使得殼體表面溫度小于55℃ ● 爐膛材料采用高純氧化鋁纖維，最大-程度減少能量損失 ● 內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時(shí)也可以延長(zhǎng)爐膛的使用壽命 ● 三個(gè)溫區(qū)分別被三個(gè)獨(dú)立的溫控系統(tǒng)控制 |
| 最大功率 | 10KW(需要75A的空氣開關(guān) ) |
| 電壓 | AC 380V 50 Hz |
| 加熱區(qū) | ● 總加熱區(qū)長(zhǎng)度：25" (630 mm) ● 加熱溫區(qū)1長(zhǎng)度：7.5" (190 mm) 1400°C 通過(guò)4根硅碳棒加熱，最高溫度可達(dá)1400℃ 注：由于測(cè)量手段及外部環(huán)境的影響，測(cè)量結(jié)果可能會(huì)有偏差，此參數(shù)僅供參考不作為該設(shè)備的技術(shù)指標(biāo)。您購(gòu)買產(chǎn)品需要準(zhǔn)確的恒溫區(qū)數(shù)據(jù)，請(qǐng)與我公司銷售人員聯(lián)系 ● 升溫速率：10°C/min ● 加熱溫區(qū)2長(zhǎng)度：10" (250 mm)1700°C 通6根硅鉬棒加熱，最高溫度可達(dá)1700℃ ● 最快升溫速率：5°C/min ● 加熱溫區(qū)3長(zhǎng)度：7.5" (190 mm) 1400°C 通過(guò)4根硅碳棒加熱，最高溫度可達(dá)1400℃ ● 最大升溫速率：10°C/min |
| 爐管和法蘭尺寸 | ● 99.8%高純剛玉管 purity Alumina Tube ● （標(biāo)配）( 60mm) O.D.x I.D. (50mm) x 1200mm L ● 一對(duì)60mm的不銹鋼密封法蘭，法蘭上已安裝閥門和儀表 ● 儀器中包括4個(gè)氧化鋁管堵  |
| 溫控系統(tǒng) | 3個(gè)溫控系統(tǒng)，都是PID30段程序化控溫 |
| 控溫精確度 | +/-1°C |
| 低真空系統(tǒng) | ● 采用TRP-12的雙旋機(jī)械泵，其針對(duì)于本公司的管式爐，真空度可達(dá)到 10-2 Torr. ● 一個(gè)KF25的不銹鋼波紋管已安裝在真空系統(tǒng)上，其尺寸為 25mm Dia x 1000mm length ，可于管式爐上的法蘭相連接 |
| 防腐型真空計(jì) | 其測(cè)量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測(cè)量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換 |
| 三路浮子混氣系統(tǒng) | ● 3個(gè)浮子流量計(jì)（精確度4%FS）安裝在一個(gè)移動(dòng)架上，可以推動(dòng)，可同時(shí)混入三種不同氣體。 ● 第一路氣體流量范圍為10-100 cc/min. ● 第二路氣體流量范圍為16-160 cc/min. ● 第三路氣體流量范圍為25-250 cc/min. ● 一個(gè)壓力表安裝在移動(dòng)加上，壓力表直接于移動(dòng)架內(nèi)的混氣箱相連接 ● 移動(dòng)架上安裝有4個(gè)不銹鋼針閥 |
| 尺寸 | 高溫爐: 863 L x 457 W x 711 H mm (34 L x 18 W x 28 H inch) |
| 質(zhì)保期& 質(zhì)量認(rèn)證 | 一年質(zhì)保期. (不包括爐管加熱元件和密封圈 .) CE certified |
GSL-1700X-III-F3LV 1700℃三溫區(qū)管式爐
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