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            目錄:深圳市科晶智達(dá)科技有限公司>>薄膜制備設(shè)備>>蒸發(fā)鍍膜設(shè)備>> OTF-1200X-RTP-II 近距離蒸發(fā)鍍膜(CSS)爐

            OTF-1200X-RTP-II 近距離蒸發(fā)鍍膜(CSS)爐
            • OTF-1200X-RTP-II 近距離蒸發(fā)鍍膜(CSS)爐
            參考價(jià) 面議
            具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
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            • 品牌 其他品牌
            • 型號(hào)
            • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
            • 所在地 深圳市
            屬性

            產(chǎn)地類(lèi)別:國(guó)產(chǎn) 應(yīng)用領(lǐng)域:電氣

            >

            更新時(shí)間:2025-02-17 12:55:41瀏覽次數(shù):1264評(píng)價(jià)

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            OTF-1200X-RTP-II 近距離蒸發(fā)鍍膜(CSS)爐專門(mén)針對(duì)于用PVD或CSS法來(lái)制作薄膜。管式爐爐管直徑為11“ OD,爐管內(nèi)載樣盤(pán)可放置3“ 的圓形或2“x2“的方形基片。加熱元件為兩組紅外燈管,分別安裝在腔體的頂端和底部,其升溫速率高達(dá)20ºC/S 。溫控系統(tǒng)為PID30段程序化控制,控溫精度為+/-1ºC。儀器面板上帶有RS485接口,儀表內(nèi)配有控溫軟件,可將升溫程序和曲線導(dǎo)出。

            OTF-1200X-RTP-II 3英寸近距離蒸發(fā)鍍膜儀爐


            性能指標(biāo)和基本配置
            爐體結(jié)構(gòu)&真空腔

            ● 兩個(gè)獨(dú)立的加熱裝置,兩個(gè)獨(dú)立控溫裝置及兩路浮子流量計(jì)均被精巧的設(shè)計(jì)在一個(gè)可移動(dòng)的鋁合金框架上。
            ● 腔體是由高純石英管制成
            ● 真空法蘭由不銹鋼制成

            基本參數(shù)

            ● 石英腔體尺寸:11"O.D×10.8"I.D×9"H mm
            ● 推薦加熱速率:≦10℃/s
            ● 最高工作溫度:≦600℃
            ● 總功率:8KW(8根紅外燈管,單根功率1KW)
            ● 電壓:AC220V,50Hz,單相(需20A的空氣開(kāi)關(guān))

            加熱元件和載樣臺(tái)

            ● 由兩組紅外燈管作為加熱元件可實(shí)現(xiàn)快速加熱
            ● 兩個(gè)獨(dú)立的加熱裝置之間的距離可調(diào)0-70mm
            ● 為了減小熱輻射和達(dá)到快速冷卻的效果,加熱元件被嵌在水冷機(jī)構(gòu)上
            ● 一個(gè)3"的基片載樣臺(tái)安裝腔體頂部
            ● 緊貼頂部加熱元件上安裝有一氮化鋁基片(Ф3"×T0.5 mm ),使其儀器使用時(shí)樣品基片上的溫度更加均勻
            ● 可將AlN陶瓷片更換為石墨片(請(qǐng)點(diǎn)擊下圖3選購(gòu))
            ● 3"的石墨坩堝可以放在底部加熱元件上來(lái)盛裝蒸發(fā)料
            ● 如需要更換紅外燈管,請(qǐng)點(diǎn)擊下圖4選購(gòu)
               image.png

            真空法蘭

            ● 真空法蘭材質(zhì)為316不銹鋼制作
            ● 頂部法蘭上有一KF25接口,可以與真空泵相連接,另外安裝有兩個(gè)1/4" 軟管接頭的出氣口
            ● 底部法蘭上有一KF25接口,可以與真空泵相連接,另外安裝有兩個(gè)1/4" 軟管接頭的進(jìn)氣口
            ● 法蘭是通過(guò)兩個(gè)硅膠O型圈進(jìn)行密封,通過(guò)機(jī)械泵(標(biāo)配不含機(jī)械泵)抽真空度可達(dá)10-2 torr,頂部法蘭可手動(dòng)操作進(jìn)行上下移動(dòng)來(lái)進(jìn)行加載/卸載襯底和蒸發(fā)料。
            ● 一個(gè)防腐型數(shù)顯式真空表安裝在法蘭頂部,可精確測(cè)量腔體內(nèi)真空度。
             image.png

            溫控系統(tǒng)

            ● 兩個(gè)數(shù)顯式溫控表都可設(shè)置30段控溫程序
            ● 每個(gè)溫控表都具有PID調(diào)節(jié)功能,保護(hù)加熱器不受過(guò)熱影響同時(shí)具有報(bào)警功能,避免過(guò)熱使熱電偶損壞
            ● 該設(shè)備可與計(jì)算機(jī)相連接,可選購(gòu)控溫軟件,將溫度程序設(shè)置和溫度曲線導(dǎo)入電腦中。
             image.png

            工作溫度

            每個(gè)加熱器最高溫度:≦600℃

            熱電偶

            兩個(gè)K型熱電偶分別安裝在上下法蘭上

            可選配件

            水冷機(jī)
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            外形尺寸

            850(L)×745(W)×1615(H) mm
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            警告● 石英管密封采用真空密封,管內(nèi)可處于微正壓但壓力要小于0.02MPa。
            ● 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購(gòu)減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全。
            ● 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí),爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng),保持在常壓狀態(tài)。
            ● 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊
            應(yīng)用提示

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            質(zhì)量認(rèn)證

            CE認(rèn)證

            保修期一年保修,終身技術(shù)支持。
            特別提示:
            1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。
            2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。
            點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書(shū)。






              OTF-1200X-RTP-II 3英寸近距離蒸發(fā)鍍膜儀爐

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