超聲波液體濃度計 單成分用

半導(dǎo)體制造程序選件

FUD-1 Model-12/1006

測量原理

超聲波在液體中非常易于傳播。

超聲波在溶液中傳播的速度受溶液的濃度和溫度影響。

「濃度變化」→ 「密度變化」→「音速變化」

本產(chǎn)品利用超聲波的特性，高精度的測量溶液的濃度。

測量「溶液的溫度」+「超聲波的速度」→通過CPU演算處理→濃度顯示

構(gòu)成図

FUD-1　Model-12

用途

CMP泥漿濃度或者CMP泥漿濃度中的H₂O₂的濃度測量

洗凈液濃度測量（（HF、NH₃、H₂O₂、BHF、KOH、IPA等）

稀釋裝置濃度測量（HF、NH₃、H₂O₂、BHF、KOH、H₂SO₄、HCI、HNO₃等）

蝕刻過程中的濃度測量（HF、H₂SO₄ 等）

特長

可根據(jù)檢量線的交換測量各種半導(dǎo)體藥液的濃度。

發(fā)信器小型、輕量，可直接在線裝置。

免保養(yǎng)設(shè)計。

接液部分全部采用（PFA)材料。

小型輸出設(shè)計，對藥液沒有影響。

主要參數(shù)