• 美國(guó)派克PARKER派克超高純貼面安裝隔膜閥產(chǎn)品概覽：

• 派克SM90系列貼面安裝不銹鋼閥體隔膜閥(1-1/8和 1-1/2閥體尺寸) 提供優(yōu)異的泄露完整性、高循環(huán)壽命和低粒子生成，使其UHP超高純半導(dǎo)體應(yīng)用的理想選擇 (1-1/8 and 1-1/2 inch body sizes) 。

  
  SM930系列與工藝流體接觸部分無(wú)螺紋或彈簧，大限度地減少粒子生成和氣體截留，減少對(duì)半導(dǎo)體應(yīng)用至關(guān)重要的過(guò)程污染。閥門的嚴(yán)格設(shè)計(jì)控制閥座和膜片應(yīng)力，提供穩(wěn)定和無(wú)需維護(hù)使用壽命。SM930系列接液部件由特殊金屬制備，提供優(yōu)異的耐腐蝕性和泄露完整性。閥體為內(nèi)部電解拋光Vericlean™ 316L不銹鋼。Vericlean™ 是派克的UHP超高純級(jí)不銹鋼。隔膜材料為高強(qiáng)度鈷基合金。SM930系列同時(shí)提供PCTFE, PEEK® 和Vespel® 閥座材料，允許SM930與多種工藝流體兼容。這些材料由SM955系列嚴(yán)格設(shè)計(jì)組成，使SM930系列具有強(qiáng)耐腐蝕性和更高循環(huán)壽命，入口壓力高達(dá)250 psig.
  
  SM930系列氣動(dòng)閥可配套限位開關(guān)或接近開關(guān)提供開-關(guān)位置指示。也有多種閥體結(jié)構(gòu)，包括930Y（Y閥）和930（面密封和短管接口）.
  
  SM930系列閥門的內(nèi)部（閥座）密封和金屬外部密封通過(guò)氦泄漏測(cè)試，使用質(zhì)譜儀達(dá)到在苛刻超高純應(yīng)用中的性能和穩(wěn)定性.
  
  市場(chǎng):
  • 半導(dǎo)體
  • 分析試驗(yàn)室
  • 制藥
  • 生物制藥
  • 航空航天
  • 工業(yè)
  
  特點(diǎn)/優(yōu)勢(shì):
  • 有C和W密封貼面安裝1-1/8

  和1-1/2

  閥體尺寸
  • 5微英寸(Ra粗糙度)電拋光表面處理
  • 高循環(huán)壽命(包括腐蝕性工礦)
  • 內(nèi)部無(wú)彈簧無(wú)螺紋，大限度地減少粒子生成和氣體截留
  • 壓力范圍：真空到250 psig
  • 內(nèi)漏率:≤ 1 x 10-9 立方厘米/秒 He
  • 外漏率:≤ 2 x 10-10 scc/sec立方厘米/秒 He
  • 常規(guī)氣動(dòng)動(dòng)作壓力75 psig
  
  應(yīng)用:
  • 腐蝕性和特殊氣體
  • 半導(dǎo)體工具
  • 工具掛鉤
  • 氣體柜
  • 閥組箱 (VMB)
  
  
  VeriClean™是派克漢尼汾公司商標(biāo)
  Vespel® 是杜邦杜邦高性能彈性體公司注冊(cè)商標(biāo)
  PEEK™ 是威格斯公司商標(biāo)

美國(guó)派克PARKER派克超高純貼面安裝隔膜閥技術(shù)規(guī)格：

性能特點(diǎn)

閥體材料                                         潔凈316L不銹鋼

隔膜材料                                         埃爾吉洛伊非磁性合金，等價(jià)

閥座材料                                         PCTFE (標(biāo)準(zhǔn)), PEEK, Vespel

帽材料                                            17-4不銹鋼

螺母材料                                         316L不銹鋼

爆破壓力                                         375 psig (26 barg) (LPNC, LPNO, LP1NC, G)

                                                     750 psig (52 barg) (I, K, M)

可承受壓力                                     188 psig (13 barg) (LPNC, LPNO, LP1NC, G)

                                                     375 psig (26 barg) (I, K, M)

流速                                                Cv 0.25 (低壓)

                                                     Cv 0.20 (手動(dòng)1/4圈)

內(nèi)部泄漏率                                     < 1 x 10-9 標(biāo)準(zhǔn)立方厘米/秒 He

外部泄漏率                                     < 2 x 10-10 scc/sec He

表面處理                                         5微英寸粗糙度或更少

大入口額定壓力                            125 psig (8.6 barg) (低壓常閉, 低壓常開, 低壓1常閉, G)

                                                     250 psig (17 barg) (I, K, M)

小入口額定壓力                             真空

啟動(dòng)壓力                                          75 psig (5 barg) 標(biāo)稱

烘烤溫度                                          in the open position: 250 °F

                                                      121°C 在開啟位置 °C

z高運(yùn)行溫度                                   66 °C

                                                      150 °F

低運(yùn)行溫度                                    -40 °C

                                                       -40 °F

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