日本進口流量控制器流量計1/4F9 10SCCM N2
數(shù)字質(zhì)量流量裝置采用具有出色穩(wěn)定性的高速繞線傳感器和較小的比例電磁閥，并具有標準的通訊功能（RS485），可實現(xiàn)高精度和高速響應(yīng)。
出色的零點穩(wěn)定性和快速響應(yīng)。
輸入/輸出信號為0-5V，電源為±15V。

日本進口流量控制器流量計1/4F9 10SCCM N2

數(shù)字質(zhì)量流量裝置采用具有出色穩(wěn)定性的高速繞線傳感器和較小的比例電磁閥，并具有標準的通訊功能（RS485），可實現(xiàn)高精度和高速響應(yīng)。
出色的零點穩(wěn)定性和快速響應(yīng)。
輸入/輸出信號為0-5V，電源為±15V。

日本進口流量控制器流量計1/4F9 10SCCM N2

 

數(shù)字質(zhì)量流量裝置采用具有出色穩(wěn)定性的高速繞線傳感器和較小的比例電磁閥，并具有標準的通訊功能（RS485），可實現(xiàn)高精度和高速響應(yīng)。
出色的零點穩(wěn)定性和快速響應(yīng)。
輸入/輸出信號為0-5V，電源為±15V。
電源連接器使用多功能的D-sub 9槽連接器。
通過旋轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)開關(guān)，可以使用主機中注冊的氣體類型。
符合RoHS / CE標準。
引出單元是一種方便的單元，可以與質(zhì)量流量控制器或帶有電纜的質(zhì)量流量計一起使用，以使用質(zhì)量流量的基本功能（例如流量測量和控制）以及流量積分功能和流量事件輸出功能。

產(chǎn)品規(guī)格

型號	EX-250S-C
電源電壓	±15V
合身	1 / 4F900（126.6毫米）
流動性	N 2
FS流量	10SCCM
標定溫度	20℃
輸入信號	電壓輸入
輸出信號	電壓輸出
工作壓力	150?300kPa
傳感器方式	熱繞組傳感器
閥門系統(tǒng)	比例電磁閥（未通電時關(guān)閉）
目標氣體	N 2
流量范圍	10SCCM
控制范圍	2?100％（FS）
反應(yīng)性	1秒內(nèi)的總流量控制范圍（在±2％FS之內(nèi)），150kPa至300kPa
準確度	FS±1.0％
重現(xiàn)性	FS±0.2％
工作壓差	50?300kPa
大入口壓力	500kPa（克）
耐壓性	980kPa（大）
他漏率	1×10 -8 Pa ? m 3 /秒以下
容許環(huán)境溫度	5?50℃
精度保證溫度	15?35℃
儲存溫度	-10?60℃
容許環(huán)境濕度	相對濕度10至90％（無凝結(jié)）
氣體接觸零件	SUS316，SUS316L，電磁不銹鋼（僅控制器），PTFE，F(xiàn)KM
電氣連接	Dsub引腳KFC標準（符合SEMI標準）HR-10A
流量設(shè)定輸入信號	0至5VDC（輸入阻抗約1MΩ）
流量輸出信號	0至5VDC（負載電阻10kΩ或更高）
數(shù)字信號	通過RS485旋轉(zhuǎn)開關(guān)設(shè)置地址
所需功率（直流）	+ 15VDC（±5％）100mA以下，-15VDC（±5％）150mA以下或+ 24VDC（±10％）180mA以下
安裝方向	水平推薦
機重	約500克
數(shù)量	1個
單位	件

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