風(fēng)冷式冷水機(jī)半導(dǎo)體光刻機(jī)冷卻

風(fēng)冷式冷水機(jī)

機(jī)組特點(diǎn)：

● 主機(jī)精選歐、美、日全新世界品牌壓縮機(jī)，制冷效率高，低噪音低，節(jié)省電能，安全環(huán)保耐用。

● 采用新型環(huán)保制冷劑，無(wú)臭氧破壞，可根據(jù)不同國(guó)家和地區(qū)選不同的環(huán)保制冷劑。

● 控制電氣采用品牌控制電器，保證機(jī)器工作穩(wěn)定，壽命長(zhǎng)久，安全可靠。

● 水泵，大排量，低能耗，省電耐用，可根據(jù)用戶要求來(lái)選擇水泵品牌及揚(yáng)程和泵體材質(zhì)。

● 低噪音外轉(zhuǎn)子風(fēng)機(jī)或軸流風(fēng)機(jī),噪音低,風(fēng)量大，省電環(huán)保耐用。

● 配備精密式數(shù)顯溫度控制器，操作方便，簡(jiǎn)單直觀。能精確控制水溫±1℃，設(shè)定溫度范圍 5 ℃ -50 ℃，可直接分析機(jī)組的運(yùn)行狀況。(可根據(jù)用戶要求配置控制系統(tǒng)。)

● 標(biāo)配干式殼管式蒸發(fā)器或（不銹鋼板式蒸發(fā)器），內(nèi)置高效換熱管，設(shè)計(jì)合理，換熱效果良好；清洗維護(hù)方便快捷。

●冷凍水流體路采用高效能絕熱材料保溫，損失冷量少，更佳省電耐用。

● 水冷機(jī)組冷凝器采用高效能殼管式換熱器（可選配不銹鋼板式換熱器），內(nèi)置高效換熱齒牙管，設(shè)計(jì)合理，換熱效果良好；

● 風(fēng)冷機(jī)組采用高效防腐散熱器，由高效防腐的散熱鋁箔加上高效的螺紋換熱的螺紋銅管組成，制造時(shí)采用二次翻邊翹片機(jī)械漲管工藝和*換熱器生產(chǎn)線，保證優(yōu)質(zhì)高效環(huán)保節(jié)能。

● 靜電噴塑外殼，歐化設(shè)計(jì)，美觀大方，外表板采用快速拆裝形式，方便使用和維護(hù)。

冷凍水的壓力和溫度——講解

　　空調(diào)用冷水機(jī)組一般是在標(biāo)準(zhǔn)工況所規(guī)定的冷水回水溫度12℃，供水溫度7℃，溫差5℃的條件下運(yùn)行的。對(duì)于同一臺(tái)冷水機(jī)組來(lái)說(shuō)，其運(yùn)行條件不變，外界負(fù)荷一定的情況下，冷水機(jī)組的制冷量是一定的。此時(shí)，通過(guò)蒸發(fā)器的冷水流量與供、回水溫差成反比，即冷水流量越大，溫差越?。环粗?，流量越小，溫差越大。所以，冷水機(jī)組工況規(guī)定冷水供回水溫差為5℃，這實(shí)際上是規(guī)定了機(jī)組的冷水流量。這種冷水流量的控制就表現(xiàn)為控制冷水通過(guò)蒸發(fā)器的太力降。

　　在標(biāo)準(zhǔn)工況下，蒸發(fā)器上冷水供回水壓降調(diào)定為0.5kgf/cm2。其壓降調(diào)定方法是調(diào)節(jié)冷泵出口閥門開度，和蒸發(fā)器供、回水閥門開度。閥門開度調(diào)節(jié)的原則是：蒸發(fā)器出水有足夠的壓力來(lái)克服冷水閉式循環(huán)系統(tǒng)中阻力；機(jī)組在負(fù)擔(dān)設(shè)計(jì)負(fù)荷的情況下運(yùn)行，蒸發(fā)器進(jìn)、出水溫差為5℃。此時(shí)進(jìn)、出蒸發(fā)器的冷水壓降為0.5kg/cm2左右。

　　按照上述要求，閥門一經(jīng)確定，冷水系統(tǒng)各閥門開度大小就應(yīng)相對(duì)穩(wěn)定不變。即使在非調(diào)定工況下運(yùn)行（如卸載運(yùn)行）旱，各閥門也應(yīng)相對(duì)穩(wěn)定不變。應(yīng)當(dāng)注意，全開閥門加大冷水流量，減少進(jìn)、出水溫差的做法是不可取的。這樣做雖然會(huì)使蒸發(fā)器的蒸發(fā)溫度提高，機(jī)組的冷量有所增加，但水泵功率也因此而提高，兩相比較得不償失。所以，蒸發(fā)器冷水側(cè)進(jìn)、出水壓降控制在49.05kPa(0.5kgf/m2)為宜。

　　一般來(lái)說(shuō)，冷水供水管上的壓力，只要能夠滿足克服冷水管系統(tǒng)中管道上的陰力損失就可以了，這可以從安裝在冷水泵上的吸入壓力表讀數(shù)來(lái)判別。然后通過(guò)控制冷水泵出水閥的開度，可以調(diào)節(jié)冷水供水壓力。將出水閥開度關(guān)小，則冷水泵背壓提高，通過(guò)水泵的流量減少，水泵功率消耗下降，這時(shí)蒸發(fā)器的供水壓力下降，但該壓力無(wú)論如何也不應(yīng)低于滿足蒸發(fā)器供、回水壓降為49.05kPa(0.5kgf/m2)的要求。

　　為了冷水機(jī)組的運(yùn)行安全，蒸發(fā)器出水溫度一般不低于3℃。此外，冷水系統(tǒng)雖然是封閉的，在蒸發(fā)器中水側(cè)結(jié)垢和腐蝕不會(huì)像冷凝器那樣嚴(yán)重，但從設(shè)備檢查維修要求出發(fā)，應(yīng)每年對(duì)蒸發(fā)器管道的水側(cè)和冷水系統(tǒng)的其他管道清洗一次。

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