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產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
iH1800干式泵維修參數(shù)：
iH1800 干式泵 380/415V，50 Hz，3 相
A59040946
技術(shù)數(shù)據(jù)
峰值速度 1800 m3h-1
1060 cfm
30000 l min-1
極限真空 1 x 10-3 mbar
7.5 x 10-4 Torr
0.1 Pa
典型軸封氮流量 4 slm
進(jìn)氣口連接 ISO160
出口連接 NW40
15 psi 壓降下典型冷卻水流量 240 l h-1
4 l min-1
重量 502 kg
極限功率輸入 4.1 kW
電機(jī)額定功率 7.0 kW
油容量 1.6 l
Edwards 高級(jí)半導(dǎo)體真空泵已經(jīng)過現(xiàn)場應(yīng)用證明，可以按照高工作標(biāo)準(zhǔn)運(yùn)行。通過延長使用壽命、提高運(yùn)行時(shí)間并提高生產(chǎn)率，同時(shí)大程度地減小占地面積、降低運(yùn)行成本，實(shí)現(xiàn)了高的可靠性和性能。
iH 系列為難以執(zhí)行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高可靠性。
iH1800干式泵維修應(yīng)用：
負(fù)載鎖
輸送
計(jì)量
平版印刷
PVD 制程
PVD 預(yù)清潔
RTA
剝離/灰化
刻蝕
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD
東莞市上善真空設(shè)備有限公司專業(yè)維修干泵，半導(dǎo)體干泵，干泵，愛發(fā)科干泵，漢鐘干泵，卡西雅瑪干泵等干泵維修
東莞市上善真空設(shè)備有限公司集生產(chǎn)銷售、安裝設(shè)計(jì)、維修保養(yǎng)真空設(shè)備、真空氦檢漏儀及通用機(jī)械設(shè)備、精密機(jī)械及自動(dòng)化設(shè)備等產(chǎn)品的企業(yè)。公司主要銷售及維修真空泵品牌有：上善系列單雙級(jí)真空泵、上善螺桿及羅茨真空泵、德國LEYB0LD真空泵、德國BUSCH真空泵、德國RIETSCHLE里其樂真空泵、德國BECKER貝克真空泵、英國EDWARDS真空泵、日本ULVAC愛發(fā)科真空泵、德PFEIFFER普發(fā)真空泵、日本ORION真空泵、ATLAS阿*真空泵、美國AGILENT安捷倫真空泵等進(jìn)口真空泵及真空系統(tǒng)。銷售真空泵配件：真空泵油、油霧分離器、排氣過濾器、葉片、碳精片、油過濾器、進(jìn)氣濾芯、空氣總成、散熱風(fēng)扇、風(fēng)扇葉、風(fēng)扇罩、真空泵油管、油封、軸承、軸套、排氣閥、逆止閥、氣鎮(zhèn)閥、視油鏡、密封套件、聯(lián)軸器、聯(lián)軸器墊等配件材。 同時(shí)公司還經(jīng)營電子材料：厭氧膠、SMT貼片膠、底部填充膠、COB灌封膠、LED固晶膠、陶瓷線路板灌封膠等。
