EMF20真空泵油霧過濾器

英國真空泵：EM系列E1M5、E1M8、E1M12、E1M18、E1M30、E1M40、E1M80、E1M175、E1M275、

E2M0.7、E2M1、E2M1.5、E2M2、E2M5、E2M8、E2M12、E2M18、E2M28、E2M30、E2M40、E2M80、E2M175、

E2M275

Edwards是的半導體、平板顯示器、LED和太陽能電池制造集成解決方案提供商，是工業(yè)、制藥

、化工、科研、加工、玻璃鍍膜、食品包裝行業(yè)以及廣泛的研發(fā)應用的真空技術者。 這些泵結構

緊湊，使用時非常安靜，具備*的潤滑回路，可靠性高，配有各種附件，可以滿足特定的應用需求。

Edwards廣泛提供不同粘性、不同規(guī)格的泵油，以使用戶使用機械真空泵獲得不同工況下的性能。生產

時通過氫化處理工藝來降低礦物油的致癌風險。特別適合于高真空使用，即使是在高溫下也能有低蒸汽

壓。

從泵的出氣口捕獲油霧，否則，這些油霧會被噴射到大氣中。在使用氣囊或

抽送高的氣體吞吐量時，可能會發(fā)生這種情況。您也可以讓油霧過濾器中捕集的油回流到泵中，但必

須確保制程氣體不會污染泵或泵油。

EMF3 油霧過濾器適用于 E2M0.7、E2M1.5 和 Speedivac 2 泵。在 DOP 測試中，它效率高，可以達

到 ，并且可以濾除疊氮化物。主體的白色下半部分為半透明，便于監(jiān)控油位。EMF 過濾器具有一種特

有的氣味，可以中和油霧的氣味。

EMF20真空泵油霧過濾器