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            目錄:鄭州科探儀器設備有限公司>>材料樣品處理>>小型濺射儀>> KT-1650PVD小型離子濺射儀

            小型離子濺射儀
            • 小型離子濺射儀
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            參考價 面議
            具體成交價以合同協(xié)議為準
            參考價 面議
            具體成交價以合同協(xié)議為準
            • 品牌 鄭科探
            • 型號 KT-1650PVD
            • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
            • 所在地 鄭州市
            屬性

            應用領域:電子

            >

            更新時間:2024-03-27 15:05:08瀏覽次數(shù):1630評價

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            小型離子濺射儀KT-Z1650PVD是一款小型臺式濺射功率可控磁控濺射儀,儀器雖小功能齊全,配備有電壓 電流反饋,樣品臺旋轉(zhuǎn),樣品高度調(diào)節(jié),及電動擋板功能。


                  鄭科探小型離子濺射儀KT-Z1650PVD是一款小型臺式濺射功率可控磁控濺射儀,儀器雖小功能齊全,配備有電壓 電流反饋,樣品臺旋轉(zhuǎn),樣品高度調(diào)節(jié),及電動擋板功能。

               小型離子濺射儀通過定時調(diào)節(jié)預濺射功率及薄膜沉積功率,可對大部分金屬進行均勻物理沉積,真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染,樣品臺可旋轉(zhuǎn)以獲得更均勻的薄膜,可制備各種金屬薄膜。


            控制方式


            7寸人機界面 手動 自動模式切換控制

            濺射電源

            直流濺射電源

            鍍膜功能

            0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

            最大功率

            ≤1000W

            最大輸出電壓電流

            電壓≤1000V  電流≤1A

            極限真空

            機械泵 ≤5Pa(5分鐘)   分子泵≤5*10^-3Pa

            濺射真空

            ≤10Pa

            擋板類型

            電控

            真空腔室

            石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm

            樣品臺

            可旋轉(zhuǎn)φ62  (最大可安裝φ50基底)

            樣品臺轉(zhuǎn)速

            8轉(zhuǎn)/分鐘

            樣品濺射源調(diào)節(jié)距離

            40-105mm

            真空測量

            皮拉尼真空計(已安裝 測量范圍10E5Pa  1E-1Pa)

            預留真空接口

            KF25抽氣口    KF16放氣口   6mm卡套進氣口




                                                                                                                                                                                                                                      














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