目錄:鄭州科探儀器設(shè)備有限公司>>材料樣品處理>>小型濺射儀>> KT-1650PVD鄭科探 KT-Z1650CVD小型離子濺射儀
| 靶材材質(zhì) | 金 鉑 銅 銀 | 靶材尺寸 | 50mm |
|---|---|---|---|
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價格區(qū)間 | 面議 |
| 控制方式 | 觸摸屏智能控制 | 樣品倉尺寸 | 50mm |
| 樣品臺尺寸 | 氬氣mm | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子 |
鄭科探 KT-Z1650CVD小型離子濺射儀是一款小型臺式蒸發(fā)功率可控蒸發(fā)鍍膜儀，儀器雖小功能齊全，配備有電壓 電流反饋,樣品臺旋轉(zhuǎn)，樣品高度調(diào)節(jié)，及電動擋板功能。
鄭科探 KT-Z1650CVD小型離子濺射儀通過定時調(diào)節(jié)預(yù)熱功率及蒸發(fā)功率，可對大部分金屬進(jìn)行均勻蒸發(fā)沉積，真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染，樣品臺可旋轉(zhuǎn)以獲得更均勻的薄膜，可制備各種金屬薄膜和有機(jī)物薄膜。
設(shè)備名稱 | 小型濺射儀 | 小型蒸鍍儀 |
控制方式 | 7寸人機(jī)界面 手動 自動模式切換控制 | 7寸人機(jī)界面 手動 自動模式切換控制 |
工作電源 | 直流濺射電源 | 直流熱蒸發(fā)電源 |
鍍膜功能 | 0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序 | 0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序 |
功率 | ≤1000W | ≤1500W |
輸出電壓電流 | 電壓≤1000V 電流≤1A | 電壓≤12V 電流≤100A |
真空 | 機(jī)械泵 ≤5Pa（5分鐘） 分子泵≤5*10^-3Pa | |
腔體真空 | ≤30Pa | |
擋板類型 | 電控 | |
真空腔室 | 石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm | 石英腔體φ160mm x 160mm |
樣品臺 | 可旋轉(zhuǎn)φ62 （可安裝φ50基底） | |
樣品臺轉(zhuǎn)速 | 8轉(zhuǎn)/分鐘 | |
樣品濺射源調(diào)節(jié)距離 | 40-105mm | 70-140mm |
蒸發(fā)坩堝容積 |
| 3ML |
蒸發(fā)溫度調(diào)節(jié) |
| ≤1600℃ |
真空測量 | 皮拉尼真空計（已安裝 測量范圍10E5Pa 1E-1Pa） | |
預(yù)留真空接口 | KF25抽氣口 KF16放氣口 6mm卡套進(jìn)氣口 | |
可選配擴(kuò)展 | 1 膜厚在線測試 2 分子泵 | |
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