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| 泵軸位置 | 臥式 | 輸送介質 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 葉輪數(shù)目 | 其他 | 應用領域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,食品/農(nóng)產(chǎn)品,化工,電子/電池,包裝/造紙/印刷 |
Edwards愛德華高級半導體真空泵已經(jīng)過現(xiàn)場應用證明，可以按照工作標準運行。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產(chǎn)率，同時減小占地面積、降低運行成本，實現(xiàn)了高的可靠性
產(chǎn)品簡介
詳細介紹
Edwards愛德華iH系列晶圓半導體干式真空泵維修保養(yǎng)
Edwards愛德華高級半導體真空泵已經(jīng)過現(xiàn)場應用證明，可以按照工作標準運行。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產(chǎn)率，同時減小占地面積、降低運行成本，實現(xiàn)了高的可靠xing。
iH 系列真空泵為難以執(zhí)行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠xing。
Edwards愛德華iH 系列半導體干式真空泵產(chǎn)品型號：iH80 iH160 iH1000 iH1800
英國愛德華 Edwards半導體 iH80技術參數(shù)：
iH1800HTX技術參數(shù)：
英國愛德華 Edwards半導體 iH80應用行業(yè)：
負載鎖
輸送
計量
平版印刷
PVD 制程
PVD 預清潔
RTA
剝離/灰化
刻蝕
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD
愛德華iH系列晶圓半導體干式真空泵維修保養(yǎng)
英國愛德華 Edwards半導體 iH80產(chǎn)品功能和優(yōu)勢：
優(yōu)化了設施消耗。
無需預防性維護。
懸臂軸和特殊的異型轉子便于顆粒的處理。
在節(jié)省電機功率的同時提高了工作繁重的 CVD 應用條件下的穩(wěn)定xing。
耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體。
較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的安全保證。
整體式軸桿無需使用電機聯(lián)結器，而第五級泵消除了使用消音器的需要并消除了顆粒堆積，從而降低了總體占地面積。