愛德華干式渦旋泵nXDS10i

概述

nXDS10i 是下一代*無油的干式渦旋泵，并取代 XDS10。nXDS 提高了傳統(tǒng)泵的性能，抽速更高，極限壓力更低，功耗更低，噪聲更小。氣鎮(zhèn)允許泵送冷凝性蒸汽，包括水、溶劑、稀酸和堿。nXDS 還采用了*新的端部密封技術(shù)，顯著延長了端部密封更換的時間間隔。具有自動電壓輸入感知功能的集成變頻器驅(qū)動提供整體優(yōu)化的泵送性能，nXDS 泵可*進行現(xiàn)場維修。

愛德華干式渦旋泵nXDS10i用途

一般清潔泵送應(yīng)用

電子掃描顯微鏡 - SEM

射束線和高能物理

前級渦輪泵

超高速離心機

覆層

低溫學

脫氣/硫化 - 油，環(huán)氧樹脂

蒸餾/萃取/過濾

冷凍干燥

熔爐

凝膠體干燥

實驗室工作臺上真空

激光、氣體回收和再循環(huán)

氦檢漏儀

負載鎖和傳輸腔

稀有氣體再循環(huán)

稀有氣體回收

冷凍制造

研發(fā)

旋轉(zhuǎn)離心蒸發(fā)器

SEM/FIB（離子束維修）

溶劑回收

表面科學儀器

特性與優(yōu)勢

?真空外殼中不需要使用潤滑劑，*密封可保證*的清潔和干燥真空，防止交叉污染

?無大氣壓到真空的軸封可使軸承*隔離，從而阻止制程攻擊，軸承也能以更低溫度運行，使用時間更長

?簡單的單側(cè)滾軸布置電機和軸承設(shè)計相結(jié)合，只需低程度的特殊工具，就能實現(xiàn)輕松的現(xiàn)場服務(wù)，因此可降低運行成本，盡可能延長正常運行時間

?改進了電機和傳動效率，可降低功耗和運行成本

?*的接口提供了各種傳統(tǒng)、模擬和數(shù)字控制方法，可通過 USB、RS232 或 RS485 實現(xiàn)遠程控制/監(jiān)視

本產(chǎn)品特點：

1、溫控風扇

       可以在低負載條件下降低風扇轉(zhuǎn)速，從而使小噪聲降至僅52dB（A)。

2、軸承罩

      可確保將制程氣體與軸承潤滑劑相分離，以確保清潔的真空環(huán)境，并避免制程氣體中的污染物進入潤滑劑中，從而延長軸承的使用壽命。

3、變頻器驅(qū)動

     范圍內(nèi)泵性能*相同，易于控制，功耗降低和自動電壓調(diào)整特性，從而有助于打造jia用戶體驗。

4、優(yōu)化渦盤設(shè)計

     轉(zhuǎn)速提高，極限真空比第yi代提高一個數(shù)量級，低極限壓力僅為7*10^-3mbar。

5、優(yōu)化斷面密封技術(shù)

    使用壽命發(fā)生顯著變化，就大多數(shù)應(yīng)用而言，典型的端面密封條使用壽命達到兩年以上。

6、高流量氣鎮(zhèn)特性

    可以gao220g/hr的速度抽取蒸汽（包括水蒸氣）。

技術(shù)參數(shù)：