DTE 配備了大電流電源和低壓（電阻式）熱蒸發(fā)平臺(tái)，適用于各種熱蒸發(fā)應(yīng)用。該系統(tǒng)允許將各種材料受控地?zé)嵴舭l(fā)到基材上。不同類(lèi)型的熱蒸發(fā)源（舟、籃和盤(pán)管）可以安裝在單個(gè)熱源支架上。

DTE-Desk 熱蒸發(fā)儀

• 物料蒸發(fā)半自動(dòng)控制

• 配備單獨(dú)的直流大電流電源（最大 12V，100A）

• 直徑 170 mm 的硼硅酸鹽-SST 真空室

• 內(nèi)置渦輪分子泵的高真空度 （Leybold 90 l/s）

• 兩級(jí)旋轉(zhuǎn)（可選隔膜或渦旋）前級(jí)泵

• 用于實(shí)時(shí)厚度測(cè)量的石英晶體監(jiān)測(cè)系統(tǒng)（精度為 1 nm）

• 電子快門(mén)

• 兩個(gè)大電流電饋通，用于熱源插入

• 可移動(dòng)的熱源支架，可向上或向下沉積配置

• 自動(dòng)排氣閥

• 全系列真空計(jì)

• 腔室導(dǎo)線(xiàn)上的 S 形夾樣品架

• 底板上的 2 英寸旋轉(zhuǎn)樣品架（可選）

• 樣品旋轉(zhuǎn)、高度和傾斜度可調(diào)（用于可選的 2 英寸樣品架）

• 兩年保修

• VacTechniche真空鍍膜系統(tǒng),,DTE-臺(tái)式熱蒸發(fā)