通常臭氧的濃度用質量比和體積比表示。質量比是指單位體積中臭氧的含量，通常用mg/L或g/m3表示。容積率是指單位體積內臭氧的容積率，用百分比表示，如2%、5%、12%等。一般醫(yī)療行業(yè)用ppm表示臭氧濃度，即每立方臭氧中臭氧含量的百萬分之一——臭氧氣體是百萬分之一。臭氧氣體濃度是衡量臭氧發(fā)生器技術性能的重要指標。相同條件下，臭氧輸出濃度越高，臭氧質量越高。

影響臭氧濃度的主要因素如下：1.臭氧發(fā)生器的結構和加工精度；2.冷卻方法和條件；3.驅動電壓和頻率；4.電介質數(shù)據(jù)；5.原料氣的含氧量、清潔度和干燥度。臭氧值是指單位時間內臭氧發(fā)生器產生的臭氧量；臭氧濃度的乘積，即臭氧總量；一般以毫克/小時、克/小時和千克/小時表示。在電解臭氧發(fā)生器的標準中，臭氧發(fā)生器的標準模型是用臭氧的輸出值來表示和區(qū)分的。使用g/h單位的小型臭氧發(fā)生器，使用kg/h單位的標準偏差。