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            武漢頤光科技有限公司
            中級(jí)會(huì)員 | 第3年

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            IRE-200 膜厚測(cè)試儀

            參  考  價(jià):900000 - 1500000 /臺(tái)
            具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
            • 型號(hào)

            • 品牌

              頤光科技

            • 廠商性質(zhì)

              生產(chǎn)商

            • 所在地

              武漢市

            更新時(shí)間:2025-02-08 10:02:58瀏覽次數(shù):2550次

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            產(chǎn)地類別 國(guó)產(chǎn) 價(jià)格區(qū)間 面議
            應(yīng)用領(lǐng)域 電子/電池,航空航天,電氣
            光學(xué)薄膜測(cè)厚儀,IRE-200是一款超高精度的外延層厚度測(cè)量設(shè)備,利用紅外光譜經(jīng)傅里葉變換進(jìn)行快速分析,主要應(yīng)用于Si、GaAs、InP、SiC、GaN等各類外延片的外延層厚度測(cè)量。

             

            一、概述

            IRE-200光學(xué)薄膜測(cè)厚儀是一款超高精度的外延層厚度測(cè)量設(shè)備,利用紅外光譜經(jīng)傅里葉變換進(jìn)行快速分析,主要應(yīng)用于Si、GaAs、InP、SiC、GaN等各類外延片的外延層厚度測(cè)量。

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            ■ 單拋/雙拋等多種模式選擇支持;

            ■ 自定義mapping功能;

            ■ 高檢測(cè)速率:Si標(biāo)準(zhǔn)外延片測(cè)量25點(diǎn)≤3min;

            ■ 高檢測(cè)精度:≤0.01um 。

            二、產(chǎn)品特點(diǎn)

            1)設(shè)備采用高性能光源模塊,光源穩(wěn)定性好,信噪比高,覆蓋范圍7800-350cm-1

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            2)搭配自主研發(fā)算法軟件,可精準(zhǔn)快速地獲取測(cè)量結(jié)果。

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            3) 搭配自主研發(fā)的mapping運(yùn)動(dòng)臺(tái),定位精準(zhǔn)、測(cè)量速度快。

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            三、產(chǎn)品應(yīng)用

             IRE-200廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)中Si、SiC、GaAs、InP、GaN等基底材料上外延層厚度的量測(cè)。

            SiC EPI量測(cè)案例

                  

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            技術(shù)參數(shù)

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