一、產(chǎn)品概述

SRPV100光學(xué)膜厚傳感器是一款應(yīng)用于光伏TopCon產(chǎn)品Poly膜厚在線監(jiān)控的傳感器，緊湊集成化設(shè)計，操作簡便，通過分析干涉形成的反射光譜，準(zhǔn)確表征Poly薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)等信息。

二、產(chǎn)品特點

■可覆蓋微絨面和拋光面應(yīng)用場景； 

■對樣品傾斜以及工作距離變化不敏感；

■測量精度高；

■高速測量；

■豐富的工業(yè)測量經(jīng)驗。

三、測量原理

薄膜上下表面反射光由于相互之間的相位差增強(qiáng)或者減弱，相位差取決于光的波長和光程（等于薄膜光的往返距離×折射率），透明薄膜，光程差等于波長整數(shù)倍，反射相長。

技術(shù)參數(shù)