四探針?lè)阶桦娮杪蕶z測(cè)儀技術(shù)參數(shù)1.方塊電阻范圍 10^-5～2×10^5Ω/□2.電阻率范圍 10^-6～2×10^6Ω-cm測(cè)試電流范圍 0.1μA ，1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100mA4.電流精度 ±0.1%5.電阻精度 ≤0.3%6.顯示讀數(shù) 液晶顯示：電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導(dǎo)率7.測(cè)試方式 普通單電測(cè)量8.工作電源 輸入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗 lt;30W

四探針?lè)阶桦娮杪蕶z測(cè)儀適用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門，是檢驗(yàn)和分析導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體材料質(zhì)量的一種重要的工具。本儀器配置各類測(cè)量裝置可以測(cè)試不同材料。液晶顯示，無(wú)需人工計(jì)算，并帶有溫度補(bǔ)償功能，電阻率單位自動(dòng)選擇，儀器自動(dòng)測(cè)量并根據(jù)測(cè)試結(jié)果自動(dòng)轉(zhuǎn)換量程，無(wú)需人工多次和重復(fù)設(shè)置。采用AD芯片控制，恒流輸出，結(jié)構(gòu)合理、質(zhì)量輕便，運(yùn)輸安全、使用方便；選配：配備軟件可以由電腦操控，并保存和打印數(shù)據(jù)，自動(dòng)生成報(bào)表；本儀器采用4.3吋大液晶屏幕顯示，同時(shí)顯示液晶顯示：電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導(dǎo)率，配置不同的測(cè)試治具可以滿足不同材料的測(cè)試要求。測(cè)試治具可以根據(jù)產(chǎn)品及測(cè)試項(xiàng)目要求選購(gòu).

技術(shù)參數(shù)資料 主機(jī)加手動(dòng)裝置一套1.方塊電阻范圍：10-5～2×105Ω/□2.電阻率范圍：10-6～2×106Ω-cm3.電導(dǎo)率范圍：106～0.5×10-6s/cm3.測(cè)試電流范圍：0.1μA ，1μA，10μA，100μA，1mA，10mA，100 mA4.電流精度：±0.1%讀數(shù)5.整機(jī)不確定性重復(fù)性誤差：≤3%（平均性誤差，人為因數(shù)外）6.顯示讀數(shù)：液晶顯示：電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導(dǎo)率7.測(cè)試方式: 雙電組合測(cè)量8.模具選購(gòu)：模具A內(nèi)徑：20mm ；模具B:內(nèi)徑10mm

自動(dòng)測(cè)量晶圓電阻率探針頭方便更換探針頭由軟件可識(shí)別探針半徑0.25mm軟件自動(dòng)計(jì)數(shù)軟件可以再次測(cè)量單點(diǎn)四探針電阻率儀規(guī)格參數(shù)10x10繪圖測(cè)試時(shí)間：4分鐘測(cè)試電流：30mA可測(cè)電阻率：0.001～1999Ω·cm（10-3～10+3Ω·㎝）可測(cè)方塊電阻：0.01～19000Ω/□（10-2～10+4Ω/□）注意：使用0.1檔電流測(cè)方阻時(shí),由于受數(shù)字表位數(shù)的限制,電壓表上讀出的方阻數(shù)均要×10。例如電流表在0.1ｍA檔,電流選0453,電壓表讀數(shù)為1900時(shí), 方阻值為:1900×10=19000(Ω/□);電壓表讀數(shù)為860時(shí),方阻值為:860×10=8600(Ω/□)。電流表選在1、10、100 mA檔時(shí)不存在以上問(wèn)題。直流數(shù)字電壓表：測(cè)量范圍：0～199.9mV靈敏度：100μV準(zhǔn)確度：0.2%（±2個(gè)字）輸出電阻：≥1000MΩ