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            行業(yè)產(chǎn)品

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            南京淳寅嘉生物科技有限公司>>合肥科晶>>研磨拋光機(jī)>> UNIPOL-1203化學(xué)機(jī)械磨拋機(jī)

            UNIPOL-1203化學(xué)機(jī)械磨拋機(jī)

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            • UNIPOL-1203化學(xué)機(jī)械磨拋機(jī)
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            具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
            • 型號(hào)
            • 品牌 合肥科晶
            • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷(xiāo)商
            • 所在地 南京市
            在線詢價(jià) 收藏產(chǎn)品

            更新時(shí)間:2021-03-03 15:12:14瀏覽次數(shù):464

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            產(chǎn)品簡(jiǎn)介

            產(chǎn)地類(lèi)別 國(guó)產(chǎn) 價(jià)格區(qū)間 面議
            應(yīng)用領(lǐng)域 環(huán)保,化工,石油
            產(chǎn)品簡(jiǎn)介:UNIPOL-1203化學(xué)機(jī)械磨拋機(jī),適用于CMP平坦化和平滑化工藝技術(shù), 整機(jī)研磨部分采用防腐材料,耐化學(xué)腐蝕,配置自動(dòng)滴料器和精密磨拋控制儀,全自動(dòng)觸摸屏面板,從加工性能和速度上同時(shí)滿足晶圓等面型加工的需求。

            詳細(xì)介紹

            產(chǎn)品名稱

            UNIPOL-1203化學(xué)機(jī)械磨拋機(jī)

            安裝條件

            本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。

            1、水:設(shè)備配有上水口及下水口,需自行連接自來(lái)水及下排水

            2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地

            3、氣:無(wú)

            4、工作臺(tái):尺寸800mm×600mm×700mm,承重200kg以上

            5、通風(fēng)裝置:不需要

            主要特點(diǎn)

            1、超平不銹鋼拋光盤(pán)(平面度為每25mm×25mm小于0.0025mm)。

            2、超精旋轉(zhuǎn)軸(托盤(pán)端跳小于0.01mm)。

            3、設(shè)有兩個(gè)加工工位,可分別進(jìn)行控制。

            4、配有全自動(dòng)控制觸摸屏面板,可設(shè)置主軸轉(zhuǎn)速、擺臂速度、磨拋時(shí)間。

            5、配置自動(dòng)滴料器,流量速率可視化調(diào)整,自動(dòng)研磨和拋光。

            6、配置GPC-100A精密磨拋控制儀,可調(diào)節(jié)壓力,修整面型,使磨拋更加方便快捷。

            7、研磨部分采用防腐材料,耐化學(xué)腐蝕。

            技術(shù)參數(shù)

            主機(jī)部分

            GPC-100A精密磨拋控制儀

            自動(dòng)滴料器

            1、電源:220V

            2、功率:450W

            3、磨拋盤(pán)轉(zhuǎn)速:10-240rpm

            4、磨拋工位:2個(gè)

            5、擺臂調(diào)節(jié)檔位:1-15檔

            6、托盤(pán)端跳:0.008/250mm

            7、不銹鋼磨拋盤(pán):φ300mm

            8、載樣盤(pán):φ105mm

            9、修盤(pán)環(huán):φ127.5mm

             

             

            1、載樣盤(pán)直徑:Ø103mm

            2、載樣盤(pán)軸向行程:12mm

            3、數(shù)顯表精度:0.001mm

            4、載樣盤(pán)可調(diào)加載壓力:

                        0.1kg-2.1kg

            5、壓力確認(rèn)儀有效量程:1g-5000g

            6、樣品裝卡方式:真空吸附

            7、承載樣件尺寸:

              直徑≤103mm、 厚度≤12mm

            8、尺寸:外徑146mm,高266mm

             

            SKZD-2滾筒滴料器

            1、容積:1.5L

            2、流量:0-35ml/min

            3、尺寸:170×290×350mm;

              重量:3kg

            SKZD-4自動(dòng)滴料器

            1、加液泵:4個(gè)

            2、料液瓶:600ml/瓶

            3、計(jì)時(shí)范圍:1-999min

            4、流量:0.1ml/min-10ml/min

            5、尺寸:230×370×450mm;

              重量:10kg

            產(chǎn)品規(guī)格

            1、外形尺寸:550mm×700mm×420mm

            2、重量:74Kg

            標(biāo)準(zhǔn)配件

            1

            鑄鐵研磨盤(pán)1個(gè)研磨盤(pán)

            2

            不銹鋼拋光盤(pán)

            1個(gè)

            3

            載物盤(pán)

            1個(gè)

            4

            修盤(pán)環(huán)

            1個(gè)

            5

            SKZD-2滴料器

            1個(gè)

            滴料器

            6

            SKZD-4自動(dòng)滴料器

            1個(gè)

            滴料器

            7

            GPC-100A精密磨拋控制儀

            1個(gè)

            8

            拋光墊

            (磨砂革、合成革、聚氨酯)

            各1片

            9

            剛玉研磨微粉

            0.5kg

            10

            石蠟棒

            4根

            可選配件

            1、YJXZ-12攪拌循環(huán)泵

            2、精密測(cè)厚儀

            3、陶瓷研磨盤(pán)

            4、玻璃研磨盤(pán)

            5、磁性樹(shù)脂金剛石研磨片

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