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| 產(chǎn)地類(lèi)別 | 國(guó)產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè) |
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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
| 高溫爐部分 | 爐體設(shè)計(jì)為開(kāi)啟式，以便于更換爐管工作電源∶ 208.240 VAC，50/60Hz z功率為∶2KW 工作溫度∶1200℃（<1hr）連續(xù)工作溫度∶ 1100℃加熱區(qū)長(zhǎng)度∶ 200m 恒溫區(qū)長(zhǎng)度∶60mm（-1℃@1000℃）注∶由于測(cè)量里手段及外部環(huán)境的影響，測(cè)里結(jié)果可能會(huì)有偏差，此參數(shù)僅供參考不作為該設(shè)備的技術(shù)指標(biāo)。您購(gòu)買(mǎi)產(chǎn)品需要準(zhǔn)確的恒溫區(qū)數(shù)據(jù)，請(qǐng)與我公司銷(xiāo)售人員 爐管∶ 高純石英管，尺寸50mm ODx44mmIDx450mmL） | |
| 溫度控制系統(tǒng) | 采用PID30段程序化控溫，其控溫精度為--1℃控溫儀表操作視頻設(shè)有過(guò)熱和斷偶保護(hù)熱電偶采用K型熱電偶 | |
| 真空密封 | 采用KF結(jié)構(gòu)密封法蘭，硅膠密封圈密封法蘭上安裝有一機(jī)械壓力表 右端法蘭與一個(gè)真空不銹鋼波紋管連接（不銹鋼波紋管伸縮幅度為150mm）真空度∶ 10-2Torr（用機(jī)械泵抽） 10-5Tor（用分子泵抽） | |
| 坩堝移動(dòng)機(jī)構(gòu)&PLC控制 | 一個(gè)直徑為14"的歐米伽鎧裝熱電偶（K型），通過(guò)法蘭伸入到爐管中，并可隨坩堝移動(dòng)，可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)樣品的實(shí)際溫度。 通過(guò)步進(jìn)電機(jī)移動(dòng)爐管內(nèi)的坩堝（樣品臺(tái)），行程為100mm，移動(dòng)精度為1mm 通過(guò)觸摸屏設(shè)定坩堝一定的距離和目標(biāo)位置，坩堝移動(dòng)速度為180mm min（更準(zhǔn)的移動(dòng)速度，可與本公司定制，需額外收費(fèi)） 可觀察下圖，了解坩堝與熱電偶的安裝方法 | |
| 加熱速率和冷卻速率 | 可通過(guò)移動(dòng)樣品到已預(yù)加熱的爐體中來(lái)得到加熱速率，也可將樣品迅速移除高溫的爐體，來(lái)得到降溫速率的 降溫速率 加熱速率 10℃C/sec (950℃C-900℃); 10℃℃/sec (150℃.250℃); [7℃/sec (900℃-850℃); 7℃/sec (250℃.350℃); l℃/sec (850℃-750℃);℃/sec (350℃- 500℃); 2℃Csec(750℃-600℃C; B℃C/sec(6500℃.5s0℃); 1.5℃sec(600℃-500℃; 2℃/sec(550℃-650℃); 1℃C/e(500℃-400℃; 1℃C/sec(650℃-800℃); 0.5℃Csec400℃.300℃C); 0.5℃/sec(800℃-1000℃; | |
| 可選配件 | 可選購(gòu)手動(dòng)擋板閥（圖1）防腐型數(shù)顯真空計(jì)（圖4） 快速連接法蘭，以方便于放置樣品（圖2） 多路質(zhì)量流量計(jì)控制的混氣系統(tǒng)，用于CVD和DVD實(shí)驗(yàn)（圖5） | |
| 尺寸 | ||
| 質(zhì)保 |
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| 質(zhì)量認(rèn)證 | CE認(rèn)證 所有電器元件（>24V）都通過(guò)UL /MET /CSA認(rèn)證 | |
| 注意事項(xiàng) | 若客戶(hù)出認(rèn)證費(fèi)用，本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過(guò)德國(guó)TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購(gòu)減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MP-0.1MPa，使用時(shí)會(huì)更加安全 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相，保持在常壓狀態(tài) 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度<1100℃ 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開(kāi)泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等） | |
| 應(yīng)用 | 此款設(shè)備可用于多種實(shí)驗(yàn)，以下列出了幾種實(shí)驗(yàn)方法 RTE（快速熱蒸發(fā)）∶蒸發(fā)料放在坩堝中，放入到爐體中心，基片放在樣品臺(tái)上，樣品臺(tái)與熱電偶相連接，然后將樣品臺(tái)移動(dòng)到理想的位置（此位置溫度是實(shí)驗(yàn)所需要的溫度） HPCVD（混臺(tái)物理化學(xué)沉積）;與RTE相似，但需配混氣系統(tǒng)，對(duì)反應(yīng)氣體混臺(tái)并控制流量，同時(shí)也需設(shè)定蒸發(fā)料的位置（確定蒸發(fā)料的蒸發(fā)溫度） 水平布里奇曼（Bridgman）法來(lái)長(zhǎng)晶體∶將樣品和籽晶放入到坩堝中，并將坩堝放入到爐體中心位置，然后設(shè)定坩堝移動(dòng)速度，慢慢移動(dòng)坩堝
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| 一年質(zhì)保期，終生維護(hù) （不含加熱元件、爐管和密封圈） |